Alvo de liga de tungstênio titânio para chips

Alvo de liga de tungstênio titânio para chips

A principal razão pela qual novos chips semicondutores escolhem a liga de tungstênio-titânio alvos como a barreira de difusão e camada de ligação é que a liga tem boa adesão de superfície e excelentes propriedades de dissipação de calor. Desta forma, o produto preparado terá um desempenho abrangente superior.

Alvo de liga de tungstênio titânio para chips

A liga de tungstênio-titânio é uma liga que tem as vantagens dos metais de transição tungstênio e titânio. Possui as características de maior densidade e pureza, melhor resistência à corrosão e menor efeito de expansão de volume, o que pode efetivamente reduzir a formação de partículas no processo de fabricação, ou seja, pode preparar filmes de alta qualidade com sucesso.

O seguinte é um método de preparação de liga de tungstênio titânio:

Etapa 1. Pegue uma certa quantidade de pó de tungstênio e pó de titânio e misture-os uniformemente sob a proteção de uma atmosfera inerte. A porcentagem de massa do pó de tungstênio é de 10-65%.

Etapa 2. Uma prensa mecânica ou uma prensa isostática a frio é usada para prensar o material misturado resultante em uma peça bruta.

Etapa 3. O blank produzido é colocado em um forno de sinterização a vácuo para densificação e sinterização.

Etapa 4. Depois de resfriar o material de tungstênio-titânio sinterizado na etapa 3, ele é fundido em um forno elétrico a arco não consumível a vácuo para obter o produto.

Em comparação com outros métodos de preparação, as vantagens deste método de preparação de liga de tungstênio-titânio são:

1. O processo de produção é simples e a operação é conveniente.

2. Usando a mistura de matérias-primas de tungstênio e pó de titânio, o processo de prensagem, sinterização e fundição a arco pode efetivamente resolver os problemas técnicos de baixa eficiência de preparação da liga tradicional de tungstênio-titânio e difícil controle de uniformidade do material e teor de impurezas.

3. O material de liga de tungstênio-titânio preparado por este método tem uma porcentagem de massa de tungstênio de 10-60%, que é adequado para preparação de lote.

Conclusão

Obrigado por ler nosso artigo e esperamos que ele possa ajudá-lo a compreender melhor a liga de tungstênio-titânio. Se você quiser saber mais sobre outros metais refratários e ligas, gostaríamos de aconselhá-lo a visitar Metais refratários avançados (ARM) Para maiores informações.

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