Plásticos de alto desempenho na indústria de semicondutores

Os plásticos de alto desempenho desempenham um papel vital na indústria de semicondutores. A fabricação de um semicondutor é um processo complexo. Tudo começa com wafers de silício e uma fábrica independente chamada fab, que pode custar vários bilhões de dólares para construir. A parte central de uma fábrica é a sala limpa.

A poeira dentro da sala limpa é cuidadosamente controlada. Mesmo a menor partícula de duto é maior do que um microcircuito e pode danificar um IC. Além disso, a instalação é protegida contra vibração e a temperatura e a umidade são cuidadosamente mantidas para minimizar a eletricidade estática.

Os circuitos integrados são fabricados por meio de processos como fotolitografia, corrosão, limpeza, deposição de filme fino e polimento. Leva cerca de 270 produtos químicos e gases ¹ para produzir um circuito integrado. Muitos deles são extremamente corrosivos:ácido nítrico, ácido clorídrico e fluorídrico e ozônio, para citar alguns. Os metais se corroem quando expostos a esses produtos químicos, produzindo níveis inaceitáveis ​​de partículas e falhas de equipamento ... mas há uma série de plásticos de alto desempenho que funcionam muito bem nessas condições extremas.

Aqui está uma lista dos dez principais critérios de desempenho para plásticos de alto desempenho na indústria de semicondutores:

1. Excelentes propriedades de resistência química para evitar corrosão.

2. Baixa geração de partículas para melhor rendimento do produto.

3. Características de baixa emissão de gases e baixa absorção de umidade em vácuos.

4. Desempenho de alta temperatura.

5. Propriedades de isolamento elétrico, baixa constante dielétrica.

6. Estabilidade dimensional para maior vida útil da peça, resistência à deformação.

7. Baixo teor de íons metálicos, portanto, baixos níveis de extraíveis em produtos químicos de alta pureza.

8. Excelente usinabilidade.

9. Retardante de chama.

10. Baixa condutividade térmica.

Então, como esses plásticos de alto desempenho são usados? Primeiro, você deve entender que existem muitos tipos de equipamentos de processamento de semicondutores. Plásticos de alto desempenho são importantes em todas as fases da fabricação de semicondutores, mas talvez nada mais do que em bancadas úmidas. Essas máquinas realizam processos químicos úmidos, como decapagem ácida, bem como enxágue e secagem química. Bancadas úmidas permitem a máxima pureza do processo e minimizam a ameaça de transporte de produtos químicos ou a contaminação de wafers durante a secagem.

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Plásticos de alto desempenho são amplamente usados ​​neste tipo de equipamento, plásticos como PVDF (difluoreto de polivinilideno); PP ² (polipropileno); PTFE (politetrafluoroetileno); FEP (etileno propileno fluorado; PFA (perfluoroalcoxi); CPVC (cloreto de polivinila clorado); ECTFE (etileno clorotrifluoroetileno) e PCTFE (policlorotrifluoroetileno) são alguns dos mais comuns. Esses plásticos de alto desempenho são usados ​​para fazer tanques, acessórios, parafusos, juntas , espaçadores, carcaças, juntas, bandejas de transporte de wafer, alças, dobradiças, folhas, tubos e bombas. Eles são altamente resistentes a produtos químicos e resistentes a ambientes extremos.

Sem os plásticos de alto desempenho, nossos lap tops, celulares e TVs widescreen, na verdade a era da informação em si, poderiam não ter sido possíveis.

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¹ De acordo com MANUAL DE PRODUTOS QUÍMICOS E GASES PARA A INDÚSTRIA DE SEMICONDUTORES publicado pela Wiley.

² Homopolímero

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