Sensor de fluxo e temperatura Lab-On-Chip

O Goddard Space Flight Center da NASA desenvolveu um sensor para sistemas microanalíticos que mede, em tempo real, a vazão e a temperatura do líquido que está sendo amostrado. Os sensores de corrente desviam o líquido para sensores de temperatura e fluxo separados, o que pode resultar em vazamento de fluido e na necessidade de uma amostra inicial maior. Este design elimina esse desvio. Os sensores do sistema medem taxas de fluxo na faixa de nanolitros por minuto e temperaturas de mais de 150 °C até abaixo de -80 °C.

Os sensores deste sistema são envoltos em Nitreto de Silício (SiN) para isolá-los eletricamente do fluxo de fluido e são suspensos no meio do canal para maximizar sua sensibilidade e tempo de resposta. Os sensores de temperatura são utilizados como parte do projeto do sensor de fluxo. O sensor de temperatura na frente (antes) do aquecedor fornece a leitura inicial da temperatura do fluido. O sensor atrás (após) o aquecedor mede quanto calor o aquecedor foi capaz de injetar no fluido. Conhecendo a condutância térmica e a capacidade calorífica do fluido, além da potência no resistor e da mudança de temperatura, a vazão do fluido pode ser calculada.

Os sensores são fabricados em uma pastilha de silício (Si) que possui um microcanal gravado nela. Uma camada de sacrifício é depositada no wafer de Si para preencher os canais; isso fornece uma superfície plana para fabricar os sensores.

A NASA está buscando ativamente licenciados para comercializar esta tecnologia. Entre em contato com o Concierge de Licenciamento da NASA em Este endereço de e-mail está protegido contra spambots. Você precisa habilitar o JavaScript para visualizá-lo. ou ligue para 202-358-7432 para iniciar discussões sobre licenciamento. Siga este link para obter mais informações:https://technology.nasa.gov/patent/GSC-TOPS-159 .