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Domínio de Nanomateriais Semicondutores 2D: Síntese de Precisão e Aplicações Revolucionárias

Resumo

Semicondutores bidimensionais (2D) além do grafeno representam os nanomateriais estáveis mais finos conhecidos. O rápido crescimento de sua família e aplicações durante a última década do século XXI trouxe oportunidades sem precedentes para tecnologias avançadas de nano e optoeletrônica. Neste artigo, revisamos os últimos avanços nas descobertas sobre os nanomateriais 2D desenvolvidos. Técnicas avançadas de síntese desses nanomateriais 2D e heteroestruturas foram resumidas e suas novas aplicações foram discutidas. As técnicas de fabricação incluem desenvolvimentos de state-of-the-art de métodos de deposição baseados em fase de vapor e novas abordagens de exfoliação de van der Waals (vdW) para fabricação de nanomateriais 2D amorfos e cristalinos, com foco particular na deposição química de vapor (CVD), deposição de camada atômica (ALD) de semicondutores 2D e suas heteroestruturas, bem como na exfoliação vdW de filmes de óxido de superfície 2D de metais líquidos.

Introdução

Após o Prêmio Nobel para o grafeno (2010) e avanços subsequentes no desenvolvimento de semicondutores 2D além do grafeno, testemunhou-se um crescimento substancial do campo científico independente de ciência de materiais baseado em nanomateriais 2D e suas heteroestruturas durante a segunda década do século XXI [1,2,3,4]. Fenômenos físico-químicos muito interessantes atribuídos à transferência de elétrons e modulações de banda proibida foram observados nas estruturas dos nanomateriais 2D relatados [5, 6]. Como o grafeno não tem banda proibida, não pode exibir características semicondutoras e tremendas atenções e esforços foram dedicados ao desenvolvimento de outros nanomateriais 2D análogos ao grafeno, incluindo dicalcogenetos de metais de transição (TMDCs), nitreto de boro hexagonal (h-BN), fosforeno negro e óxidos de metais de transição, etc. [7,8,9,10,11,12,13,14,15,16]. Esta família de nanomateriais 2D além do grafeno exibiu um amplo espectro de características eletrônicas cobrindo uma ampla gama de propriedades, de metais a semi-metais e depois de semicondutores a isolantes [17,18,19,20]. Além da ampla gama de propriedades eletrônicas, outras características de materiais 2D, incluindo sua alta área superficial, ausência de ligações pendentes, a natureza do estado superficial, as características distintas de acoplamento spin-orbital e seus efeitos quânticos de spin Hall orquestram propriedades bastante intrigantes nos nanoestruturados materiais 2D individuais [21,22,23,24,25]. Consequentemente, o interesse das comunidades científicas por este tipo de nanomateriais 2D tem aumentado exponencialmente, particularmente durante a última década, devido às suas propriedades semicondutoras sem precedentes. Por sua vez, esse interesse foi adequadamente refletido pelo aumento exponencial proporcional de artigos publicados dedicados a semicondutores 2D (base de dados Web of Knowledge™) apresentado na Fig. 1.

Domínio de Nanomateriais Semicondutores 2D: Síntese de Precisão e Aplicações Revolucionárias

Dinâmica do número de artigos publicados para "semicondutores 2D" baseado no Web of Knowledge™

As primeiras medições de propriedades de nanomateriais semicondutores 2D revelaram características eletrônicas únicas, que não eram comparáveis com as propriedades de seus equivalentes microestruturados e em massa. Estas características distintas estão relacionadas aos efeitos de confinamento quântico originados da nanoestrutura de baixa dimensionalidade dos materiais 2D [26]. Portanto, estas especificações únicas de materiais 2D fornecem excelentes plataformas para estudar sua física e química fundamentais. A primeira classe extensivamente investigada de nanomateriais 2D são os TMDCs em camadas (XY2, onde X = Mo, Ti, W e Y = S, Se e Te) [27,28,29,30,31,32,33,34,35,36,37,38,39]. Os resultados obtidos neste estágio confirmaram que os semicondutores dicalcogenetos têm diferenças significativas nas condutividades 2D e em massa (σ1/σ2 ~ 102–103) [40]. Além disso, alguns materiais 2D de monocamada, como dissulfeto de molibdênio (MoS2), são semicondutores de banda proibida direta [41]. As características eletrônicas obtidas de TMDCs 2D têm implicações vitais para o desenvolvimento adicional da próxima geração de dispositivos nano e optoeletrônicos modernos. Estas descobertas e outras anisotropias surgem da presença de forte ligação intercamadas X–Y, que contrasta com as fracas interações vdW entre camadas [42]. Por exemplo, TiS2 cristaliza em uma estrutura em camadas hexagonal, onde uma folha hexagonal empacotada de átomos de Ti é intercalada entre duas folhas de enxofre hexagonal para cada monocamada [43]. Esta configuração específica em camadas de átomos permitiu a delaminação vdW de nanoestruturas 2D em camadas. Consequentemente, a maioria dos relatórios anteriores focou nas propriedades de materiais 2D sintetizados por técnicas de exfoliação mecânica e vdW. Devido à natureza ultrafina de filmes 2D, eles podem ser transparentes, leves e flexíveis e também podem possuir propriedades muito interessantes. Estas características únicas pavimentaram o caminho para o desenvolvimento de materiais de eletrodo de alto desempenho com aplicações de armazenamento e conversão de energia, como baterias, supercapacitores e células de combustível [44]. Por exemplo, a Fig. 2 resume as principais propriedades de semicondutores 2D e heteroestruturas, que foram utilizadas em suas aplicações típicas.

Domínio de Nanomateriais Semicondutores 2D: Síntese de Precisão e Aplicações Revolucionárias

Propriedades de semicondutores 2D utilizadas em suas aplicações típicas

Notável, o campo de semicondutores nanoestruturados 2D se destaca independentemente como conhecimento importante para o desenvolvimento de instrumentos nano e optoeletrônicos modernos de alto desempenho devido aos mais recentes avanços tecnológicos em nanofabricação [45]. A estrutura em camadas em escala atômica de nanomateriais 2D é a origem de suas propriedades distintas, onde a tunabilidade precisa das propriedades dos materiais é fornecida pelo controle em nível atômico de suas dimensões. Assim, a síntese conformal de filmes 2D ultrafinos com espessura uniforme é altamente desejável como um passo fundamental para o desenvolvimento de métodos de fabricação de instrumentos eletrônicos avançados baseados em nanomateriais 2D. Especificamente, para produção de filmes ultrafinos em escala de wafer com espessura precisa e uniforme sobre o substrato desejado, técnicas de síntese bem-sucedidas para fabricação de instrumentos baseados em semicondutores 2D devem ser desenvolvidas [46]. Além disso, durante as etapas de síntese e fabricação, nanomateriais 2D poderiam ser decorados e podem estar em contato direto com vários componentes de unidades eletrônicas, incluindo condutores elétricos, isolantes e substratos com várias características geométricas. Também deve ser levado em conta que as heterointerfaces entre nanomateriais 2D e outros componentes podem afetar fundamentalmente suas propriedades. Isto está particularmente relacionado aos mecanismos de transferência de carga entre camadas 2D [47]. As características únicas de filmes 2D heteroestruturados permitem que sejam empregados em muitas aplicações, incluindo eletrônica heteroestruturada, optoeletrônica, biossensoriamento, sensores ambientais, catálise, eletrônica vestível e flexível, memristores e dispositivos sinápticos [36, 44, 48,49,50,51,52,53,54,55]. Assim, as técnicas de síntese e fabricação devem, por sua vez, responder à complexidade de fabricação de instrumentos funcionais baseados em nanomateriais 2D. Além disso, as propriedades eletrônicas de materiais 2D são altamente afetadas pelas características dos materiais, incluindo estruturas físicas e químicas, dimensões, número de camadas, morfologias, orientações, fases estruturais, defeitos de dopagem, amorficidade ou cristalinidade e fronteiras de grão em suas estruturas [56]. O número de camadas em nanoestruturas 2D tem impacto fundamental adicional na estrutura eletrônica e, então, as propriedades de materiais 2D determinam totalmente o desempenho final dos dispositivos eletrônicos baseados nos filmes 2D [57].

Por outro lado, a cristalinidade ou amorficidade de materiais 2D também pode mudar suas propriedades eletrônicas. Determinada pelos métodos de síntese e suas condições, nanomateriais 2D podem ser livres de defeitos (cristal único) ou conter algum nível de impurezas ou poucas fronteiras de grão. Portanto, a mobilidade de carga através do fenômeno de espalhamento de interface é afetada via número de fronteiras de grão [58]. Enquanto uma estrutura cristalina única tem a mais alta mobilidade de carga e baixo espalhamento de interface, as estruturas 2D amorfas representam as mais altas características isolantes [58]. A maioria dos métodos de síntese anteriores de nanomateriais 2D baseava-se na exfoliação mecânica de nanoestruturas 2D. Devido às fracas forças vdW entre as estruturas em camadas, a exfoliação mecânica e química pode ser efetivamente empregada para extrair as nanoestruturas 2D em camadas [59]. Assim, a exfoliação mecânica leva à separação das estruturas 2D cristalinas de alta qualidade de seus materiais hospedeiros. No entanto, a exfoliação mecânica já falhou em sintetizar nano filmes 2D em larga escala. Analogamente, a exfoliação em fase líquida de materiais 2D é outra abordagem adequada para produção de baixo custo e larga escala de materiais 2D. No entanto, o controle de qualidade e a uniformidade de tamanho são os principais desafios para síntese de filmes 2D via esta técnica de exfoliação [58]. Pelo contrário, o crescimento direto de filmes 2D via técnicas de deposição baseadas em vapor foi encontrado como um dos métodos de síntese mais confiáveis e aplicáveis para fabricação de nano filmes 2D de alta qualidade em escala de wafer com controle dimensional preciso. Por exemplo, CVD e ALD são duas principais técnicas de deposição baseadas em vapor que oferecem vantagens técnicas distinguíveis para fabricação em grande área de semicondutores 2D nanoestruturados e suas heteroestruturas [60, 61]. O controle preciso de espessura, composição química, estado de cristalinidade e até a porcentagem de elementos de dopagem e defeitos estruturais pode ser adequadamente alcançado pela manipulação cuidadosa dos parâmetros de crescimento nos processos CVD e ALD, respectivamente. Além disso, além dos métodos convencionais de síntese de filmes 2D, outras novas fontes de materiais 2D apareceram há apenas alguns anos. Por exemplo, o óxido de superfície de metais líquidos é de fato uma fonte única de nano filmes 2D naturais de alta qualidade com propriedades sem precedentes decorrentes das características físicas e químicas de ligas líquidas [61].

Consequentemente, a revisão discutirá as últimas descobertas sobre os novos métodos de síntese de nanomateriais 2D, focando nas técnicas ALD e CVD e também nas exfoliações vdW dos filmes de óxido de superfície 2D naturais de metais líquidos. Os mecanismos de crescimento de materiais 2D nas técnicas de deposição em fase de vapor são explicados e os principais desafios e oportunidades na fabricação e deposição de materiais semicondutores baseados em 2D também são discutidos. Além disso, a técnica de exfoliação vdW recentemente desenvolvida dos filmes de óxido de superfície 2D naturais de metais líquidos é introduzida. Finalmente, as aplicações funcionais state-of-the-art desenvolvidas de dispositivos ultrafinos baseados em 2D, incluindo suas características eletrônicas e optoeletrônicas, são apresentadas e caracterizadas em detalhes.

Nanomateriais 2D Sintetizados por Técnicas de Fabricação Baseadas em Vapor

Os principais focos de pesquisadores trabalhando no campo de materiais semicondutores 2D estão na síntese e caracterização subsequente de nanoestruturas 2D. Estas nanoestruturas 2D pertencem a uma ampla gama de materiais inorgânicos, orgânicos e poliméricos com espessura atômica e fina. As estratégias de síntese geralmente seguem duas abordagens principais, ou seja, as estratégias top-down e bottom-up. Portanto, o desenvolvimento de semicondutores 2D com arquiteturas e propriedades físicas e químicas controladas desempenha um papel chave em várias aplicações e abrirá novas possibilidades em um nível significativamente maior do que as tecnologias semicondutoras comerciais atuais. No entanto, apesar de esforços substanciais e descobertas científicas únicas nos semicondutores 2D durante os últimos anos, a maioria deles foi obtida em laboratórios usando técnicas de exfoliação bastante simples, que não podem ser usadas em aplicações industriais. Uma alternativa representa o método top–down que tipicamente envolve a delaminação e exfoliação vdW de materiais em camadas e estruturas orgânicas covalentes em camadas (COFs). No entanto, o gargalo deste método é o rendimento extremamente baixo de produto e reempilhamento de folhas durante a solidificação. Outra alternativa baseia-se na montagem anisotrópica bottom-up de precursores inorgânicos, orgânicos ou poliméricos de maneira 2D. Embora algum sucesso na fabricação de nanomateriais 2D, as investigações profundas de nano folhas 2D racionalmente projetadas com várias funcionalidades no armazenamento e conversão de energia eletroquímica permanecem primitivas. Portanto, as explorações completas da singularidade de nanomateriais 2D com espessura personalizada, alta área superficial, boa condutividade e flexibilidade mecânica para acelerar a difusão iônica e transporte de elétrons em várias aplicações serão altamente demandadas. As seções a seguir apresentam os fundamentos de duas principais técnicas de deposição de materiais 2D, ou seja, CVD e ALD, com foco nas conquistas durante os últimos anos.

CVD de Nanoestruturas 2D

O crescimento direto em fase de vapor de filmes ultrafinos está entre os métodos de síntese mais confiáveis e aplicáveis para deposição de filmes de alta qualidade com especificações dimensionais ultraprecisas [62]. Entre vários métodos, CVD representa a primeira técnica bem-sucedida bem conhecida para crescimento de filmes 2D ultrafinos em vários substratos diferentes. CVD oferece uma abordagem escalável e controlável para o crescimento de filmes 2D de alta qualidade em grande área [63]. Existem várias especificações distinguidas que tornam o método CVD uma técnica confiável para deposição controlável de nanomateriais 2D. O método baseia-se na reação passo a passo de materiais gasosos em estado de vapor na superfície de substratos. As reações CVD são seguidas pelo crescimento de filmes finos de estado sólido com espessura de poucas camadas atômicas. Portanto, as propriedades de nanomateriais 2D são altamente dependentes das propriedades interfaciais, características geométricas do substrato e fases estruturais de filmes sólidos. Estas propriedades poderiam ser cuidadosamente moduladas pelo ajuste preciso dos parâmetros de crescimento CVD. Para entender os mecanismos gerais de crescimento CVD, deve-se perceber como os parâmetros CVD, incluindo temperatura, pressão, substrato e precursores, podem afetar a transferência de massa, transferência de calor e reações interfaciais na superfície. Neste sentido, uma receita bem projetada controlando os principais parâmetros de deposição durante o processo deve ser desenvolvida [64]. Além disso, permite controlar o nível de dopagem em nano filmes 2D, que é capacidade vital no projeto de nanoestruturas semicondutoras com propriedades específicas [64]. Por exemplo, é possível controlar o nível de vacâncias de calcogênio e metal durante o processo CVD. Os seguintes parâmetros-chave do processo CVD são altamente dependentes das fases estruturais, morfologia e reações interfaciais.

Temperatura

Temperatura é um dos principais parâmetros fundamentais afetando diretamente vários fatores interconectados durante o crescimento de filmes CVD, incluindo a taxa de reações químicas de precursores, a taxa de fluxo de gás transportador e, finalmente, influenciando a taxa de crescimento do filme CVD [64]. Geralmente, alta temperatura CVD assegura deposição de filmes CVD 2D de alta qualidade. No entanto, temperatura extremamente alta também tem desvantagens. Especificamente, pode criar gradiente de alta concentração e, portanto, causar fluxo e transferência de massa instáveis no sistema [64]. Também afeta diretamente a pressão de saturação dos componentes na câmara e, consequentemente, altera a taxa de crescimento de filmes finos. Os efeitos combinados de temperatura e pressão podem ser observados durante a deposição CVD de filmes 2D TMDCs. Neste tipo de nanoestruturas 2D, a concentração de elementos de enxofre e selênio no sistema é altamente importante para determinar a composição final de filmes 2D. Por exemplo, alta pressão e concentração de gás permitiram a síntese controlável de TMDCs 2D (MoS2, WS2, etc.). Geralmente, uma alta temperatura CVD acompanhada pela pressão suficiente facilitando o mecanismo de deposição termodinamicamente ativado, enquanto uma baixa temperatura CVD geralmente leva ao processo de crescimento cinético [64, 65]. O mecanismo de crescimento controlado finalmente resulta no crescimento controlado de TMDCs 2D com capacidade de ajuste das propriedades e número de camadas fundamentais.

Pressão

CVD também é conhecido como técnica de deposição de pressão variável, onde a pressão do processo pode ser alterada do nível atmosférico a poucos milímetros. A condição mais favorável para um processo CVD controlável é alcançada na baixa concentração e alta velocidade de alimentação de massa. Neste sentido, a baixa pressão é sempre mais confiável para crescimento uniforme de nanoestruturas 2D ultrafinas na deposição em escala de wafer de nanoestruturas 2D TMDCs [66, 67]. A pressão parcial de componentes também pode afetar diretamente o crescimento uniforme camada por camada de filmes 2D TMDCs. Portanto, o crescimento de filme 2D MoS2 pela técnica CVD é um dos exemplos mais famosos, onde a fabricação da segunda camada fundamental sobre o filme inicialmente crescido só pode ser iniciada nas fronteiras de grão da primeira camada depositada na baixa pressão.

Substrato

A natureza do substrato tem impactos fundamentais no crescimento de filmes 2D e heteroestruturas. Por exemplo, substrato metálico, Si, SiO2, mica e poliamidas estão entre os substratos mais comumente empregados para deposição CVD de filmes 2D [68, 69]. O papel dos substratos no mecanismo de crescimento de filmes 2D determina sua cristalinidade, orientação de grãos, microestruturas e propriedades. Especificamente, filmes 2D de óxido metálico depositados em ouro, níquel, cobre e prata demonstraram propriedades cataliticamente ativas [70,71,72]. Geralmente, no caso de substratos metálicos, o crescimento preferencial de filmes 2D com direções cristalinas específicas é tecnicamente dependente das energias de ligação dependentes de face entre o substrato metálico e o filme TDMC depositado [73]. Também afeta diretamente a morfologia de nanoestruturas crescidas. No caso de óxidos metálicos 2D depositados em filme de Au, as energias de ligação entre Au e oxigênio (O), e Au e metal (M) componente do filme de óxido 2D determinam as estruturas de ligação química na heterointerface entre Au e filme de óxido metálico [73]. A ligação preferencial entre Au e átomos de metal do filme de óxido é prevista, resultando principalmente na formação de interfaces Au-M-O [74,75,76]. A forte interação entre Au ou outros substratos metálicos e filmes finos de óxido depositados permitiu o crescimento adaptativo de óxidos 2D da estrutura cristalina de substratos metálicos [77,78,79]. Isso significa que o padrão de crescimento da primeira monocamada de óxido metálico segue o padrão cristalino do substrato metálico. Por exemplo, enquanto o Au tem estrutura cristalina cúbica de face centrada (fcc), sua direção cristalina na superfície do substrato Au determina a orientação cristalina do filme de óxido metálico 2D. Notável, o Au (111) não reconstruído consiste em redes hexagonais, enquanto um plano Au (111) reconstruído mostra uma estrutura complexa [80, 81]. Foi observado que vários filmes de óxido depositados no substrato Au levantaram a reconstrução em espinha de peixe, que foi causada pela forte interação entre a faceta Au (111) e o filme de óxido ultrafino. Vários óxidos metálicos 2D diferentes foram crescidos em substratos Au, incluindo TiOx, VOx, CoO, MoO3, MgO, ZnO e WOx [82]. Um dos exemplos famosos de catalisador é TiO2 2D crescido na superfície do substrato Au (111) [83]. Sugeriu-se que átomos de Ti ocupam os sítios ocos trifold da rede de Au e átomos de O posicionam nos sítios de ponte dos átomos de Ti, então uma estrutura de favo de mel com estequiometria de Ti2O3 é formada, mostrada na Fig. 3a [83]. Além disso, existe outro mecanismo de crescimento de filmes de óxido 2D, onde uma rede superposta M-O sobrepõe a superfície Au (111) e forma padrões Moiré resultando no crescimento de diferentes aparências de estruturas de cata-vento com estequiometria TiO, como demonstrado na Fig. 3b e c, respectivamente [83]. O crescimento de padrão Moiré hexagonal foi comumente observado durante CVD de filmes ultrafinos de TiO, FeO [84], CoO [85] e ZnO [86] no substrato Au (111).

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Imagem STM de a estrutura de favo de mel Ti2O3, e b monocamada de cata-vento TiO crescida em Au (111), e c imagem STM de resolução atômica de estruturas de cata-vento em Au (111). Reproduzido com permissão de [83]

MoS2 é um representante típico da família de TMDCs 2D. Até agora, tem sido considerado como um dos nanomateriais mais favoráveis entre todos os TMDCs, pois tem banda proibida relativamente pequena de 1,29 eV e 1,90 eV para material em massa e monocamadas, respectivamente [40, 87, 88]. Anteriormente, um filme 2D de MoS2 monocristalino só era exfoliado mecanicamente de seu volume hospedeiro. Sendo um semicondutor de banda proibida direta, monocamadas de MoS2 oferecem a possibilidade intrigante para a realização de um transistor de efeito de campo (FET) de tunelamento interbanda, que é caracterizado por uma ligação mais aguda que o limite teórico de 60 mV dec−1 para transistores clássicos, e consequentemente, menor dissipação de potência. Esta característica permaneceu difícil de alcançar no caso de silício, um semicondutor de banda proibida indireta, porque transições interbanda lá requerem fônons e centros de recombinação [87]. Uma das aplicações recentes interessantes de nanocristais 2D de MoS2 é o transistor [87] e fototransistor [40] baseados em uma monocamada de nano folha de MoS2. Além disso, a deposição em grande área de filmes 2D foi alcançada via técnicas CVD modificadas, incluindo deposição química de vapor metalorgânica (MOCVD), deposição química de vapor de baixa pressão (LPCVD), deposição química de vapor de plasma acoplado indutivamente (ICP-CVD), ou outros métodos inovadores desenvolvidos e combinados por outras técnicas. CVD também é bem conhecido por sua capacidade de deposição em escala de wafer de filmes 2D TMDC. A Figura 4 mostra um dos exemplos interessantes: a deposição em grande área de filmes 2D ultrafinos de MoS2 e WS2 sobre wafer de 4 polegadas [88]. Neste processo CVD, Mo(CO)6 e W(CO)6 e (C2H5)2S foram empregados como precursores na técnica MOCVD, enquanto H2/Ar foi usado como gás transportador (Fig. 4a, b) no processo MOCVD [88]. Foi demonstrado que 8100 unidades FET de alto desempenho baseadas em filmes 2D de MoS2 foram fabricadas usando técnica de fotolitografia com o mesmo substrato de gate traseiro (Fig. 4c). Na segunda configuração da unidade, filme dielétrico externo de SiO2 foi depositado no filme 2D de MoS2 para fabricar instrumentos FET (Fig. 4d). As medições elétricas de transistores confirmaram o desempenho consistente de FET, que foram selecionados de diferentes partes do wafer. Portanto, as condições de crescimento uniformes e conformais durante o processo CVD de filmes 2D de MoS2 e WS2 foram confirmadas (Fig. 4f).

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Crescimento MOCVD em escala de wafer de filmes contínuos de MoS2 e WS2. a O esquema gráfico do dispositivo CVD e os precursores relacionados para MOCVD de filmes 2D de MoS2 e WS2. c O lote de 8100 dispositivos FET baseados em filme 2D de MoS2 sobre wafer Si/SiO2. O inset mostra a imagem ampliada de um milímetro quadrado contendo 100 dispositivos. d O estágio de fabricação sequencial de dispositivo empilhado baseado em MoS2. e A imagem demonstra os dispositivos FET de MoS2 na primeira e segunda camadas. f O IDS-VDS de dois dispositivos FET vizinhos em duas camadas diferentes. Reimpresso com permissão de [88]

CVD também se estabeleceu como técnica versátil para fabricação de várias heteroestruturas 2D [89]. Por exemplo, CVD foi empregado para deposição bem-sucedida de configurações laterais e verticais. No estilo lateral, os nano filmes 2D são unidos no nível atômico, enquanto na estrutura vertical, a força de interação entre as camadas tem natureza vdW. Assim, nas heteroestruturas 2D laterais, uma correspondência de rede estrita é altamente necessária para desenvolvimento das heterointerfaces 2D, como foi relatado para heteroestruturas MoS2/WS2 [89]. Deposição simples em uma etapa de heteroestruturas 2D laterais MoS2/WS2 foi estabelecida quando enxofre, trióxido de molibdênio e precursores de tungstênio são usados durante o processo CVD (Fig. 5a, b) [89]. Os filmes 2D desenvolvidos tinham heterointerfaces atômicas agudas onde o plano atômico compartilhava a mesma orientação cristalina com orientação armchair e zigzag (Fig. 5c). A morfologia final do filme foi uma forma de núcleo-casca triangular com MoS2 dentro e WS2 fora (Fig. 5d). Estudos de caracterização Raman confirmaram a fabricação de filmes 2D verticais e laterais (Fig. 5f). O desenvolvimento de heterojunção p-n entre filmes 2D de WS2 e MoS2 intensificou o efeito fotovoltaico de filmes 2D heteroestruturados. Portanto, forte fenômeno de fotoluminescência foi detectado (Fig. 5e, g) [89]. Uma interface bastante aguda com a mesma orientação cristalina e estrutura de rede semelhante a filmes 2D de WS2 e MoS2 foi caracterizada. Além disso, em outro relatório, CVD foi empregado para desenvolver heterointerfaces laterais 1H MoS2/1T′ MoTe2, onde os dois componentes tinham descompasso de rede relativamente grande [90]. Existem vários outros casos, que demonstraram o desenvolvimento de heterointerfaces entre filmes 2D TMDC com grande descompasso de rede, incluindo 2D WSe2/MoSe2 [91] e MoS2/WS2 [92], confirmando a capacidade do método CVD para deposição de heteroestruturas 2D laterais semicondutor/semicondutor. Portanto, pode-se concluir que a técnica CVD moderna provou suas capacidades versáteis para deposição bem-sucedida de materiais 2D em substratos flexíveis orgânicos e poliméricos, isolantes e substratos de grafeno. A Tabela 1 resume as últimas conquistas de TMDCs 2D e suas heteroestruturas fabricadas pela técnica CVD em escala de wafer [93].

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a Esquema de crescimento CVD de heteroestruturas 2D laterais semicondutor/semicondutor. b Imagens STEM de contraste de resolução atômica de interface in-plane entre WS2 e MoS2. c Mapeamento de intensidade Raman de filme 2D heteroestruturado a 351 cm−1 (amarelo) e 381 cm−1 (roxo). d Mapeamento de intensidade PL combinado a 630 nm (laranja) e 680 nm (verde). Reimpresso e reproduzido com permissão de [89]

Em geral, a estabilidade dos nanomateriais 2D e heteroestruturas fabricados por CVD é bastante alta, embora a informação sobre a estabilidade a longo prazo de tais nanoestruturas seja bastante limitada na maioria dos trabalhos publicados. O desempenho e estabilidade a longo prazo de instrumentos eletrônicos e optoeletrônicos baseados em TMDC cultivados por CVD são grandemente afetados pelas interfaces, defeitos e fronteiras de grão nos nanomateriais, considerando que eles servem como centros de espalhamento de portadores. Isso, por sua vez, diminui a mobilidade de portadores dos dispositivos. Portanto, a preparação de materiais compostos 2D com superfícies limpas, alta qualidade e tamanho de domínio em escala de wafer deve ser uma meta desejada para futuras nano e optoeletrônica. Também deve ser enfatizado que um grande número de outros materiais compostos 2D ainda não foram bem estudados ou não foram cultivados com sucesso, e consequentemente, descobertas mais emocionantes estão esperando para ser encontradas.

ALD de Nanoestruturas 2D

ALD como uma modificação de CVD pode implementar várias estratégias para fabricação de semicondutores 2D e heteroestruturas em sanduíche com controle de espessura. Embora ALD tenha sido inicialmente desenvolvido há cerca de 45 anos, apenas no início do século XXI ele ganhou mais popularidade devido às grandes vantagens e desenvolvimento de vários precursores [94]. Durante a última década, tem sido usado para fabricação de amplos tipos de materiais, incluindo óxidos, sulfetos, selenetos, teluretos, nitretos e metais [95]. Um requisito-chave é que precursores moleculares adequados devem sofrer reações auto-limitantes, pois a distinção primária entre ALD e outros métodos de deposição em vapor é o fato de que uma monocamada de superfície auto-saturante é formada após cada exposição de precursor. Uma descrição completa dos últimos desenvolvimentos na química ALD pode ser encontrada em revisões recentes [94,95,96]. Até agora, ALD foi implementado em diversos campos, incluindo microeletrônica [97], catálise [98], fotovoltaica [99] e sensores [100]. Infelizmente, a implementação de ALD para a síntese de semicondutores 2D e nanoestruturas em sanduíche 2D é bastante limitada.

Como técnica de deposição, ALD consiste em uma série de reações auto-limitantes, saturadas de superfície, para formar filmes conformais finos a uma taxa controlável. Apesar de todas as vantagens óbvias do ALD, deve-se admitir que esta tecnologia emergente ainda não foi totalmente explorada para fabricação de diferentes nanoestruturas 2D. Aparentemente, a falta de receitas e precursores confiáveis, janela de temperatura ALD específica para deposição são algumas das razões válidas para isso. Por outro lado, foi relatado recentemente que as vantagens do ALD são muito superiores às capacidades existentes de outras técnicas de deposição [101]. Especificamente, ALD é a única tecnologia que permite a fabricação de nano filmes 2D e suas heteroestruturas livres de defeitos, conformais, em escala de wafer com controle preciso, em escala de Ångstrom, de sua espessura durante a deposição [102]. Neste sentido, a interface ALD nanométrica state-of-the-art e engenharia molecular de nanomateriais 2D podem abrir possibilidades completamente novas, fornecendo canais ultrafinos para dopagem chave, minimização da densidade de impurezas interfaciais e otimização das capacidades de instrumentos. Além disso, a técnica de fabricação ALD permite direcionar o projeto de nanoestruturas 2D para heterojunções e heteroestruturas [103,104,105], e SE híbrido baseado em nanomateriais inorgânico-inorgânico [106], orgânico-orgânico e inorgânico-orgânico [107]. A Figura 6 ilustra o crescente interesse em ALD, bem como comparação das taxas de deposição e propriedades para nanoestruturas 2D desenvolvidas por várias técnicas de deposição [94].

Domínio de Nanomateriais Semicondutores 2D: Síntese de Precisão e Aplicações Revolucionárias

Número de citações anuais sobre o tópico "Deposição de camada atômica" a de manuscritos publicados. Dados de acordo com o banco de dados Web of Knowledge™. Comparação da taxa de deposição vs cobertura de etapa (b) e áreas de cobertura produzidas por diferentes técnicas de deposição (c). Análise comparativa de propriedades de SE fabricados por PVD, CVD e ALD, respectivamente (d). Reproduzido com permissão de [94]

ALD de Filmes de Calcogenetos Metálicos 2D

Os TMDCs em camadas são compostos de estrutura em sanduíche onde as camadas metálicas ligadas covalentemente com dois átomos de calcogênio individuais ao redor, assim, o mecanismo de deposição camada por camada na técnica ALD é favorável para fazer nanoestruturas 2D TMDC em camadas. Entre os diferentes filmes 2D TMDCs, incluindo calcogenetos binários, ternários e dopados, menos de 20 tipos deles poderiam ser depositados via método ALD. O primeiro nanofilme de MoS2 foi fabricado por ALD em 2015. Inicialmente, o número de camadas de MoS2 foi controlado pelo ajuste de parâmetros da técnica ALD [106, 108,109,110]. Mais tarde, a síntese ALD de monocamada de TMDCs foi relatada [111,112,113,114]. A síntese de camada auto-limitante (SLS) de filme de monocamada de MoS2 também foi facilitada baseada nas semi-reações típicas de ALD [115, 116]. Aqui, alguns casos práticos de ALD de filmes 2D estáveis de dicalcogenetos metálicos são resumidos na Tabela 2 [94].

A primeira investigação de deposição de MoS2 2D baseou-se na sulfurização de filme de MoOx de poucas camadas depositado por ALD. A formação de arranjos de átomos S-Mo-S ao longo do eixo z foi alcançada após 10 min de interação do filme de MoOx com gás S a 600 °C [117]. A morfologia, uniformidade, cristalinidade, nucleação e qualidade do filme depositado por ALD têm impacto direto nas propriedades finais e características do filme de MoS2 [117,118,119,120,121]. Neste exemplo, os parâmetros do processo de recozimento em múltiplas etapas devem ser controlados precisamente para facilitar a formação de filmes de MoS2 com redução sequencial de Mo e então incorporação de átomos de S. Além disso, as reações em múltiplas etapas permitiram o controle de cobertura e transformação de fase de MoS2 cristalino para a fase 2H em temperaturas de pós-tratamento mais altas. A primeira deposição CVD em escala de wafer de MoS2 no substrato de safira de 2 polegadas foi relatada em 2014, quando MoCl5 e H2S foram empregados como precursores no sistema ALD a 300 °C [121]. Verificou-se que 10 ciclos ALD sequenciais são necessários para estabelecer o crescimento uniforme do filme de MoS2 e prevenir o crescimento de ilhas. O seguinte pós-recozimento do filme de MoS2 ALD a 800 °C melhorou a cristalinidade de MoS2 à custa de perder a uniformidade de espessura de MoS2 nos substratos de wafer. Assim, maior número de ciclos ALD foram feitos (20 ciclos) para compensar a falta de uniformidade devido ao processo de pós-recozimento em alta temperatura. Considerando a janela ALD, verificou-se que o processo ALD dentro de 350 a 450 °C permite camadas de sulfeto de maior qualidade com taxa de crescimento de 0,87 Å/ciclo [122]. Também foi demonstrado que o seguinte recozimento do filme de MoS2 depositado em H2S ou gás de enxofre pode melhorar a estequiometria do filme 2D de MoSx [123].

A deposição de filmes 2D de MoS2 via técnica ALD também pode ser alcançada pelo uso de outros precursores. Outros precursores principais para deposição de filmes 2D de MoS2 foram Mo(CO)6, H2S e compostos de dissulfeto de dimetila. A janela ALD adequada para esses precursores está na faixa de 155–170 °C. Monitorando o ganho de massa durante os ciclos ALD, revelou-se que múltiplos pulsos de fonte de Mo são necessários para atingir a saturação, enquanto uma única injeção de H2S é suficiente para saturar a reação e alcançar a taxa de crescimento de 2,5 Å/ciclo na condição otimizada [124]. A deposição atômica de camada aprimorada por plasma (PE-ALD) também pode ser empregada com sucesso para depositar filme ultrafino h-MoS2 em diferentes substratos. A taxa de crescimento de 0,5 Å/ciclo foi observada na janela ALD de (175–200 °C) para deposição de filmes 2D de MoS2. Janela ALD mais baixa (60–120 °C) causou a deposição de filmes 2D de MoS2 amorfos. Particularmente, o ALD a 100 °C permitiu a formação de camada contínua de MoS2 amorfo no wafer de Si. Para melhorar a cristalinidade do filme ALD depositado, o posterior tratamento de recozimento térmico rápido (RTA) a 900 °C levou à formação de camada hexagonal cristalina de MoS2 [125, 126]. Outra receita para deposição de filme 2D de MoS2 é Tetrakis (dimetilamido) molibdênio (Mo(NMe2)4), que interage com H2S ou alternativamente 1,2-etano-ditiol (HS(CH2)2SH) para depositar filmes 2D de MoS2. Nesta receita, o ALD de filme de MoS2 ocorre em temperatura mais baixa (T < 120 °C) desde que Mo(NMe2)4 se decompõe em temperatura superior a 120 °C. O filme 2D depositado foi amorfo nesta técnica. Assim, o recozimento subsequente foi empregado para cristalizar os filmes 2D de MoS2. A análise de espectroscopia de massa revelou que o mecanismo de deposição ALD de filme de MoS2 baseia-se na remoção dos ligantes NMe2 remanescentes da superfície do substrato após interação de gás de enxofre com precursor de Mo. Comprovou-se que é possível depositar filmes 2D em substratos poliméricos usando temperatura ALD mais baixa.

2D WS2 é outro exemplo de dicalcogeneto em camadas depositado por ALD a 300 °C usando WF6 e H2S como precursores [127]. Um catalisador baseado em Zn é necessário para iniciar a deposição de filme de WS2 via técnica ALD. Dietilzinco (DEZ) e H2S foram empregados para auxiliar a nucleação rápida de filme de WS2 sobre uma ampla gama de substratos [128]. Zn atua como agente redutor para WF6, favorecendo a adsorção de WF6 na superfície dos substratos. A taxa de crescimento inicial de 1,0 Å/ciclo foi registrada, que então foi reduzida após 50 ciclos ALD de deposição de WS2. Verificou-se que a deposição de uma monocamada de filme de ZnS também facilitou o crescimento de filme de WS2 com estrutura cristalina [129, 130]

WSe2 é outro filme 2D TMDC que foi fabricado por ALD [124]. Neste relatório, uma abordagem auto-limitante para WCl6 e dietil-seleneto (DESe) na temperatura ALD mais alta de 600–800 °C foi empregada e a dependência da espessura do filme na temperatura de processamento ALD foi observada [131]. Cinco, três e uma camadas cristalizadas de WSe2 foram depositadas nos wafers Si/SiO2 (8 cm2) a 600 °C, 700 °C e 800 °C, respectivamente. Após 100 ciclos ALD, o crescimento de WSe2 parou devido à saturação de crescimento. O filme de WSe2 depositado com poucas camadas e monocamada foi cristalizado com estrutura de favo de mel. O mesmo filme foi empregado como semicondutor p-tipo no FET e mostrou a capacidade do filme de WSe2 depositado por ALD para aplicação em dispositivos eletrônicos. Em outra tentativa paralela, o ALD térmico de filme contínuo de WSe2 no substrato Si/SiO2 foi realizado com sucesso a 390 °C [132]. WCl5 e H2Se foram empregados para depositar um filme altamente uniforme com estrutura bem cristalina. A qualidade e cristalinidade do filme de WSe2 ALD foram bastante compatíveis com filmes de WSe2 exfoliados mecanicamente e CVD [132].

Família 2D SnSx é outros tipos de materiais 2D que foram extensivamente estudados durante os últimos anos. O primeiro filme de SnS depositado foi relatado usando estanho (II) 2,4-pentanedionato (Sn(acac)2) precursor como fonte de Sn e H2S como fonte de enxofre, respectivamente, onde a taxa de crescimento de 0,23 Å/ciclo foi alcançada na janela ALD de 125 a 225 °C. Os outros precursores para ALD de filme de SnS são bis(N,N'-diisopropilacetamidinato) estanho (II) (Sn(amd)2) e N2,N3-di-tert-butilbutano-2,3-diamina estanho (II) que reagem com gás H2S durante ALD [133]. Esta receita permitiu a deposição de filme de SnS cristalino na temperatura ALD de menos de 200 °C.

Filmes 2D de SnS2 e SnSx são depositados via emprego de precursores contendo átomos de Sn [134]. O tetrakis (dimetilamino) estanho (TDMASn) [135, 136] e acetato de estanho (Sn(OAc)4) [137] como precursores metálicos de Sn (IV) foram usados para ALD de filmes de SnS2. Filmes de SnS2 hexagonal policristalinos foram depositados com taxa de crescimento de 0,64–0,8 Å/ciclo [134] na faixa de temperatura de 140–150 °C. O crescimento de temperatura ALD acima de 160 °C resultou no desenvolvimento de filmes mono-sulfeto finos. No entanto, o filme depositado sempre contém uma combinação de ambos compostos mistos de SnS e SnS2. A cristalinidade do filme ainda pode ser melhorada pelo seguinte tratamento de pós-recozimento em gás H2S a 300 °C. Como exemplo, a formação de filmes 2D de SnS2 ortorrômbicos de fase única com espaçamento intercamada de 0,6 nm foi relatada após o tratamento de pós-recozimento a 300 °C em atmosfera de H2. Outro precursor para deposição ALD de filme de SnS2 é Sn(OAc)4 onde a reação ALD na temperatura ALD de 150 °C resultou na taxa de crescimento de 0,17 Å/ciclo para filme de SnS2 amorfo estequiométrico. Geralmente, na deposição ALD de filmes SnSx de poucas camadas com precursores de Sn e gás H2S, a composição química, estrutura e estequiometria das estruturas ALD SnSx podem ser moduladas dependendo das condições de deposição e tratamentos pós-ALD [137].

Uma das principais capacidades do ALD é a deposição em escala de wafer de TMDCs 2D heteroestruturados, que abre mais oportunidades para fabricação de heteroestruturas vdW. Os desafios tecnológicos para deposição de filmes 2D heteroestruturados são as principais preocupações para sua deposição. Planos basais da maioria dos materiais 2D são inertes com a falta de banda pendente, assim, a nucleação da 2ª família de filmes 2D sobre a primeira camada é consideravelmente desafiadora. Portanto, é necessário permitir a adsorção inicial de precursores na superfície do filme 2D e então facilitar o crescimento do segundo filme 2D sobre o substrato. Um desses exemplos é a deposição ALD de filme de Sb2Te3 na superfície de grafeno usando SbCl3 e (Me3Si)2Te como precursores [138]. Neste processo ALD, (Me3Si)2Te foi inicialmente adsorvido fisicamente no grafeno. A bem-sucedida baixa temperatura de deposição de 70 °C para camada cristalina de Sb2Te3 de ~24,0 nm de espessura foi finalmente alcançada com o plano cristalino paralelo aos substratos de grafeno. Uma heterointerface aguda foi formada entre o grafeno e o filme de Sb2Te3 como representado na imagem de microscópio eletrônico de transmissão de alta resolução (HRTEM) na Fig. 7a [138].

Domínio de Nanomateriais Semicondutores 2D: Síntese de Precisão e Aplicações Revolucionárias

a Imagem transversal da interface entre Sb2Te3 crescido por ALD no substrato grafeno/SiO2. b A imagem transversal de camadas empilhadas heteroestruturadas Sb2Te3/Bi2Te3. c A imagem HRTEM de heterointerfaces SnS/WS2 e d a correspondente imagem de transformada rápida de Fourier (FFT). Reproduzido com permissão de [138]

Em outra tentativa, filmes 2D heteroestruturados de Sb2Te3/Bi2Te3 calcogenetos metálicos foram depositados pelo processo ALD no wafer Si/SiO2. Aqui, o telureto de bismuto foi selecionado para ser depositado sobre o wafer de silício pela técnica ALD a 165–170 °C, pois cobre o Si melhor que Sb2Te3. Considerando a baixa temperatura ALD de Bi2Te3 (a 65–70 °C), o emprego de pulso inicial longo de SbCl3 na câmara ALD foi tomado como estratégia capaz de saturar a superfície de Bi2Te3 e completar as reações de superfície para a próxima etapa de deposição [139]. Esta abordagem também facilitou a deposição de três camadas empilhadas de Bi2Te3/Sb2Te3 com alto nível de cristalinidade. Outro exemplo é o crescimento de múltiplas heterojunções semicondutoras em camadas WS2/SnS em substratos Si/SiO2 por ALD alternado de WS2 e SnS na temperatura ALD de 390 °C [140]. O 2D WS2/SnS empilhado tem ângulo de orientação de 15° entre seus eixos c originado da diferença em estruturas cristalinas e descompasso de rede entre WS2 e SnS (Fig. 7b, c) [133]. Esta característica cristalina desalinhada de heterointerfaces WS2/SnS é a origem da diminuição notável da mobilidade de lacunas no filme de SnS [140]. Geralmente, as técnicas ALD estão passando por progresso consistente para permitir a deposição de maiores números de filmes 2D TMDC. No entanto, ainda existem inúmeras oportunidades de pesquisa para desenvolver receitas ALD adequadas para deposição de filmes 2D TMDC sobre diferentes substratos e também para desenvolver instrumentos nanoeletrônicos baseados em TMDCs 2D.

ALD de Filmes de Óxido Ultrafinos

Filmes de óxido metálico de poucos nanômetros de espessura podem ser considerados como nanoestruturas 2D quando podem ser atribuídos a poucas camadas de filmes 2D. Neste contexto, a caracterização e exploração de propriedades de óxidos 2D para aplicações práticas são consideradas como conhecimento técnico valioso junto com o avanço progressivo na miniaturização de dispositivos. Além disso, tecnologias modernas usam as vantagens de nanoestruturas de óxido metálico ultrafinas como componentes principais de nanodispositivos state-of-the-art. Consequentemente, aplicações promissoras para semicondutores e isolantes 2D ultrafinos são esperadas, como células de combustível de óxido sólido, filmes catalíticos, camadas de proteção contra corrosão, sensores químicos, dispositivos spintrônicos e sensores de luz UV e visível. Transistores de efeito de campo de semicondutor de óxido metálico (MOSFET) e outros instrumentos nanoeletrônicos inovadores são fundamentalmente dependentes de filmes uniformes ultrafinos de óxidos metálicos. Complementar, sensores de semicondutor de óxido metálico complementar (CMOS) são tecnicamente desenvolvidos baseados na deposição de filmes ultrafinos de óxidos metálicos, que abriram um bom número de diferentes aplicações, desde sensores de imagem e luz até transistores FET em instrumentos semicondutores de baixa energia. Células de energia solar, dispositivos plasmônicos, aplicações de armazenamento de dados, características de biocompatibilidade e biossensoriamento, propriedades de supercapacitância e sensoriamento eletroquímico estão entre as aplicações recentemente anunciadas e descobertas de semicondutores de óxido 2D. Assim, a deposição ALD de filmes finos de semicondutor de óxido metálico 2D é considerada como tecnologia de fabricação avançada. Também é um alvo extremamente difícil de alcançar considerando o fato de que a estabilidade estrutural e integridade molecular de filmes 2D podem se deteriorar facilmente. Consequentemente, um dos principais desafios é a deposição versátil e conformal dessas nanoestruturas de óxido 2D em substratos convenientes [94]. A seção a seguir é especificamente focada no ALD de materiais de óxido metálico, e atenção particular é dada a filmes 2D de óxido de molibdênio, titânio, alumínio e tungstênio.

MoO3

Propriedades distinguíveis de trióxido de molibdênio nanoestruturado (MoO3) o tornaram um excelente candidato para aplicações catalíticas, elétricas e ópticas. Existem também várias funcionalidades promissoras originadas da heterointerface entre o semicondutor MoO3 e seus substratos metálicos. O bis(tert-butilimido) bis(dimetilamido) molibdênio ((tBuN)2(NMe2)2Mo) é um dos precursores para deposição de MoO3, pois fornece boa volatilidade e estabilidade térmica [141]. A janela PEALD para óxido de molibdênio com plasma de O2 e precursor ((tBuN)2(NMe2)2Mo) está na faixa de 50–350 °C. Os filmes depositados em temperaturas abaixo de 250 °C são geralmente amorfos, assim, o processo de pós-recozimento é necessário para experimentar uma transição do estado amorfo para cristalino. Enquanto os filmes depositados são subestequiométricos, a estequiometria pode ser ajustada pela modulação de parâmetros de plasma. O outro precursor para ALD de filme ultrafino de MoO3 é Mo(CO)6, que é principalmente empregado via plasma de O2 para facilitar o PE-ALD de baixa temperatura de filmes de MoO3 na janela ALD estreita de 152–172 °C [141]. O filme de MoO3 resultante foi depositado com taxa de crescimento de 0,75 Å/ciclo. O filme depositado foi encontrado amorfo com deficiência de oxigênio na heterointerface entre substrato e filme de MoO3. Para alcançar a estrutura cristalina, o seguinte pós-recozimento em temperatura acima de 500–600 °C é necessário. Em outra estratégia, o plasma de ozônio foi usado na superfície do filme de MoO3 ALD depositado em wafer de 300 mm Si/SiO2 [141]. Filme de Mo foi fabricado usando precursores Si2H6 e MoF6 a 200 °C. A deposição em escala de wafer de filme ultrafino de MoO3 sobre Au de 4 polegadas no wafer Si/SiO2 foi relatada, onde C12H30N4Mo como precursor de molibdênio e plasma de O2 como fonte de oxigênio foram usados em duas temperaturas ALD de 150 e 250 °C, respectivamente. O processo inclui a pré-exposição da superfície de Au nua por plasma de O2 que auxilia a formação de ligação OH na superfície de Au. A seguinte quimissorção de moléculas C12H30N4Mo pelos sítios ativos no Au e interação com grupo OH na superfície do filme de Au levou à troca de ligante. O seguinte plasma de O2 completou o processo de oxidação e finalizou o crescimento de filme de monocamada de MoO3 ultrafino (Fig. 8). O desenvolvimento de ligação Mo-O-Mo é esperado após a conclusão do processo de oxidação. Finalmente, filme de MoO3 de 4,6 nm de espessura foi depositado sobre o substrato de wafer. Nesta técnica, a taxa de crescimento de 0,78 Å/ciclo a 1,21 Å/ciclo foi medida quando a temperatura ALD aumentou de 150 a 250 °C [141].

Domínio de Nanomateriais Semicondutores 2D: Síntese de Precisão e Aplicações Revolucionárias

a Esquema gráfico de deposição de nano filmes 2D de MoO3 por PE-ALD. b A injeção de precursor na câmara ALD e c a reação entre precursor e superfície de Au (d) e a deposição completa de um filme de monocamada sobre substrato de Au. e A espessura do filme de MoO3 PE-ALD sobre substrato de Au vs. número de ciclo ALD baseado no uso de precursor (NtBu)2(NMe2)2Mo e plasma de O2 a 150 °C e 250 °C, com tempo de dosagem de precursor de 2 s e tempo de exposição de plasma de 5 s. f A curva de saturação do precursor (NtBu)2(NMe2)2Mo. O GPC é demonstrado como função do tempo de dosagem de precursor. g A curva de saturação para plasma de O2 mostrando o GPC como função do tempo de exposição de plasma. Reproduzido com permissão de [141]

WO3
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Aumento de não-estequiometria em filme de monocamada de WO3 desenvolvido por ALD via processo de intercalação/desintercalação

TiO2

Deposição em escala de wafer de filme ultrafino de dióxido de titânio (TiO2) no substrato Si/SiO2 foi alcançada usando o precursor tetrakis (dimetilamino) titânio (TDMAT) e H2O como agente de oxidação [145]. A temperatura ALD ótima de 250 °C foi selecionada para ALD de filme de monocamada de TiO2 no substrato em escala de wafer. Para alcançar uma cobertura completa de monocamada de TiO2, dois super-ciclos ALD individuais foram projetados e implementados [145]. O primeiro super-ciclo consistiu em 10 ciclos consecutivos de pulso/purga TDMAT para assegurar a cobertura confiável da superfície por precursores. Depois, 10 estágios de pulso/purga de H2O foram realizados para assegurar a conclusão da oxidação [145]. Estudos XPS confirmaram as mudanças de energias de ligação em ambos os picos Si 2p e Ti 2p após a deposição de TiO2 2D poderiam ser elucidados pelo desenvolvimento de ligações Si-O-Ti na interface entre SiO2 nativo e filme de TiO2 2D depositado. A deposição de TiO2 em substrato de SiO2 foi acompanhada pela diminuição na energia de ligação de Si4+, que estava relacionada a este fato de que o silício era mais eletronegativo que o titânio. A evidência de ligação de ponte de oxigênio também foi demonstrada pela caracterização do modo vibracional de ligações Ti-O-Ti no espectro FTIR de monocamada de TiO2 e também pela investigação do espectro XPS de filme de monocamada [145]. A banda proibida de 3,37 eV foi medida para este filme de TiO2 com espessura em escala atômica. A capacidade do ALD para deposição de filmes ultrafinos é de grande importância para aplicações funcionais como microeletrônica e catálise onde apenas poucos ciclos ALD são desejáveis. A Tabela 3 resume casos práticos para desenvolvimento ALD de vários óxidos metálicos 2D relatados até o momento.

Em relação à estabilidade das nanoestruturas 2D fabricadas por ALD e suas heterointerfaces, depende principalmente da química de superfície do ALD de materiais 2D, especialmente porque a inércia de seus planos basais é esperada para inibir seu crescimento e, assim, formação de heteroestruturas vdW. Além disso, como cada precursor tem uma "janela ALD" específica de temperaturas de deposição, a abordagem de tentativa e erro é necessária para otimização da temperatura de fabricação ALD para cada precursor específico, levando em conta a espessura final e porosidade dos materiais depositados [98, 109]. Devido à baixa temperatura de deposição, ALD de óxidos 2D geralmente leva à fabricação de camadas amorfas [32, 94]. Portanto, quando as fases cristalinas de óxidos metálicos são necessárias, o tratamento de pós-recozimento é geralmente aplicado, melhorando a qualidade cristalina dos filmes, bem como as interfaces com o substrato, o que finalmente leva a melhor estabilidade de nanomateriais 2D ao longo do tempo. Finalmente, embora ALD pareça ser um método de escolha para fabricar monocamadas de óxido devido ao seu controle preciso da espessura do filme, apenas alguns relatórios podem ser encontrados na literatura [21, 32, 98, 141, 144, 145]. Portanto, a área de óxidos metálicos 2D e suas heterointerfaces fabricados por ALD permanece bastante inexplorada.

Óxidos de Superfície 2D Auto-limitantes de Metais Líquidos

A biblioteca de novos materiais 2D para aplicações avançadas é atualmente limitada pelos métodos convencionais de síntese de filmes 2D. A exfoliação mecânica de filmes 2D de seus volumes hospedeiros em camadas não é um método tecnologicamente preciso e atraente, já que a distribuição de tamanhos e espessura de nano folhas produzidas não são adequadamente e precisamente controladas [146]. Enquanto as técnicas de alto vácuo são consideradas de alta precisão na deposição de filmes, estes métodos ainda são caros, demorados e restritos pela disponibilidade de precursores [64]. Por outro lado, é sempre desejável introduzir novos métodos de síntese de materiais 2D para obter nanoestruturas 2D avançadas com propriedades superiores. Assim, a síntese de novos materiais semicondutores 2D com características distinguíveis ou melhoradas ainda permanece um desafio fundamental.

Metais líquidos em temperatura ambiente são um grupo de metais e ligas com núcleos metálicos ricos em elétrons que lhes permitem permanecer em estados líquidos mesmo em temperaturas ambiente. A interface de metais líquidos com o ambiente circundante é a origem de um dos filmes 2D mais naturais [147]. Este filme de óxido de superfície auto-limitante (pele) é um dos materiais planares mais perfeitos com espessura em escala atômica [148]. Estas estruturas cristalinas são o hospedeiro de propriedades únicas e forneceram uma nova plataforma para síntese de materiais 2D de filme fino de alta qualidade para aplicações avançadas [149]. Aqui, os metais líquidos têm o papel de material hospedeiro para síntese de filmes 2D. Com respeito à estrutura atômica, composição elementar, fluidez e termodinâmica de metais líquidos, e além disso, considerando as características de nucleação e crescimento dos filmes de óxido de superfície, inúmeros parâmetros estão envolvidos para determinar as propriedades dos filmes de óxido de superfície 2D extraídos [150]. Ligas metálicas monofásicas de baixo ponto de fusão são compostas de metais de transição pós (Ga, In, Sn, Pb, Al e Bi) e elementos do grupo 12 (Zn, Cd e Hg). Estes elementos podem ser combinados para produzir um grupo de ligas líquidas com baixa temperatura de fusão. Um metal líquido bifásico (mistura de sólido e líquido) pode ser formado por desvio da composição da liga do ponto eutético ou via adição de elementos solutos acima do limite de solubilidade no solvente de metal líquido [151]. Gálio (Ga) é um dos metais líquidos mais famosos com ponto de fusão em temperatura ambiente e possuindo ligações covalentes e metálicas no estado sólido. A forte anisotropia estrutural e fraca ligação atômica entre dimeros de Ga é originada da distância entre átomos vizinhos de Ga 2,7–2,9 Å, que é considerada como uma distância significativa entre os dimeros de gálio [152]. Esta fraca ligação atômica resulta na fraca estrutura cristalina no gálio que pode facilmente se quebrar em temperaturas ambiente [153]. A liga de Ga com alguns dos outros elementos pode levar a maior diminuição na temperatura de fusão da liga líquida. Um dos exemplos famosos é a liga Ga-In, quando a temperatura de fusão diminui para 16 °C no ponto eutético da liga In-Ga com concentração atômica de 14,2% de índio [153]. A interface entre liga de gálio e atmosfera circundante é composta de óxido de gálio (Ga2O3) de espessura em escala atômica. O metal líquido reage com oxigênio atmosférico mesmo em pressão de oxigênio muito baixa, formando uma reação de oxidação de metal auto-limitante [153]. Estes filmes de óxido ultraplanares estão entre os materiais 2D crescidos naturalmente mais perfeitos [61]. Este filme natural previne o metal líquido de oxidação adicional. A transferência iônica através do filme natural de óxido de superfície é o fator controlador para o crescimento natural de filmes de óxido de superfície de metais líquidos e ligas. A formação deste filme de óxido leva à maior redução na energia livre de Gibbs (ΔGf) [154]. Em uma liga de metal líquido, o filme de óxido de superfície é composto principalmente de filmes de óxido de superfície de um dos filmes de óxido elementar de componentes da liga. O exemplo mais famoso é o filme de óxido de superfície da liga galinstan. Galinstan (EGa, In, Sn) é a liga eutética de gálio-índio-estanho. No entanto, o óxido de superfície de galinstan é composto de Ga2O3. Como o ΔGf de Ga2O3 é menor que o de In2O3 e SnO2 em atmosfera de oxigênio, o óxido de superfície da liga galinstan é composto principalmente de Ga2O3 [155]. Com a mesma estratégia de síntese, é possível sintetizar filmes mistos de óxido 2D semelhantes a óxido de índio-estanho. Para este fim, a liga fundida In-Sn deve ser usada para extrair filmes 2D da superfície da liga líquida In-Sn [154].

Devido às propriedades não polares de metais líquidos, a força de atração entre o metal líquido e seu filme natural de óxido de superfície é fraca e localizada. Assim, uma força mecânica fraca pode simplesmente delaminar os filmes de óxido de superfície da superfície de metais líquidos. A delaminação do filme de óxido de superfície pode ser alcançada via separação mecânica e exfoliação de filmes 2D aplicando métodos de exfoliação mecânica, incluindo sonicação, toque do metal líquido com o substrato apropriado selecionado, laminação mecânica do metal líquido e liga sobre substrato liso e separação e extração de filmes 2D através das diferenças e gradientes de densidade entre os compostos sintetizados. Estes métodos foram empregados recentemente para delaminação de vários tipos diferentes de filmes de óxido de superfície de metais líquidos de sua liga hospedeira. A seção a seguir revisará alguns dos filmes de óxido de superfície 2D de metais líquidos e ligas sintetizados recentemente.

SnO x

Filme 2D de SnOx foi delaminado com sucesso via exfoliação vdW do filme de óxido de superfície de estanho líquido. Estanho elementar (Sn) com seu baixo ponto de fusão (231,9 °C) [156] e sua alta condutividade (9,17 × 106 σ) é usado como conexões elétricas em utensílios eletrônicos. O impacto anticorrosão da camada de óxido de estanho foi confirmado antes. SnO2 cobre naturalmente a superfície de liga de estanho sob condição atmosférica e previne oxidação adicional de Sn [156]. Verificou-se que o filme natural de óxido de superfície de estanho líquido na atmosfera ambiente é composto de uma mistura de óxidos de estanho que é predominantemente composta de SnO2, com algumas contribuições de SnO, Sn2O3 e Sn3O4 [156]. O controle preciso da exposição de oxigênio à superfície de estanho fundido fresco é o principal fator técnico para determinar a composição do filme de óxido de superfície de liga de estanho. Este é um fator altamente importante durante a síntese do filme de óxido de superfície de estanho fundido, quando levamos em consideração o fato de que SnO2 é semicondutor n-tipo, e SnO é um semicondutor p-tipo com uma variedade de diferentes propriedades elétricas. As características bipolares de SnO é outra propriedade importante deste material que o tornou uma escolha funcional para aplicação em inversores elétricos [157]. Além disso, a alta estabilidade e sensibilidade de filmes de SnO bem estabelecidos os tornaram a opção desejada para aplicação em sensores FET baseados em química e filmes catalíticos. A transparência é outra característica de filmes de SnO originada da banda proibida larga deste semicondutor [156, 157].

Para exfoliar filme 2D de SnOx, o filme fresco de óxido de superfície de estanho fundido foi delaminado mecanicamente pelo contato da superfície de substrato Si/SiO2 com a superfície de liga fundida dentro da luva [158]. O esquema do processo foi demonstrado graficamente na Fig. 10a [158]. O filme de SnOx delaminado em atmosfera ambiente tinha espessura de ~0,6 nm [157] com estrutura cristalina. Considerando o espaçamento intercamada de SnO cristalino (0,484 nm), filme de 0,6 nm de espessura pode ser considerado como filme de monocamada de SnO e filme de 1,1 nm de espessura é, portanto, um filme 2D de SnO bicamada (Fig. 10b). Os filmes 2D sintetizados em luva e sob concentração de oxigênio de 10–100 ppm tiveram características de superfície ultra-finas. A medição do espaçamento intercamada mostrou que as nano folhas formadas sob atmosfera ambiente eram compostas de dois materiais distintos com espaçamento intercamada de 2,7 Å e o outro 3,35 Å, que foram respectivamente atribuídos à rede cristalina de SnO e SnO2. O espaçamento de rede de 2,7 Å estava relacionado ao plano (110) de SnO, enquanto o espaçamento de rede de 3,35 Å foi atribuído ao plano (110) de SnO2, respectivamente (Fig. 10c–e) [158]. A amostra sintetizada em atmosferas redutoras foi principalmente coberta por filme de SnO. A medição de banda proibida de filme de SnO mostrou banda proibida direta de 4,25 eV. Este filme 2D ultrafino foi empregado para fabricar transistor FET baseado em SnO. As características p-tipo do FET desenvolvido baseado em SnO foram confirmadas com mobilidade de 0,7 cm2V−1 s−1 (Fig. 10g), que foi muito maior que dispositivos FET similares baseados em filme de SnO bicamada depositado por camada pulsada com mobilidade de 0,05 cm2V−1 s−1 [159].

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a Representação gráfica do método de exfoliação vdW. Quando um substrato Si/SiO2 é anexado à liga de estanho fundido, a força vdW criada entre o óxido de estanho e a superfície de SiO2 ajuda a delaminação e seguinte anexação de filme de óxido 2D ao substrato SiO2. b A imagem AFM da monocamada (0,6 nm) e bicamada (1,2 nm) de filme de óxido de estanho. c A imagem TEM de filme de óxido de estanho desenvolvido em atmosfera controlada. d O HRTEM de filme de óxido de estanho desenvolvido em atmosfera ambiente com estrutura mista de SnO e SnO2. e A imagem HRTEM de filme de SnO desenvolvido em atmosfera controlada. f A banda proibida de filme de monocamada de SnO medida por espectroscopia de perda de energia de elétrons. g As características I-V de dispositivo FET de SnO fabricado em várias tensões de gate. Reimpresso com permissão de [156]

GaPO 4

O fosfato de gálio (GaPO4) semicondutor estável em alta temperatura (até 930 °C) é um dos semicondutores piezoelétricos funcionais com posição técnica excepcional comparado ao seu rival α-quartzo [61]. Fosfato de gálio tem estrutura trigonal com parâmetros de célula de a = 4,87 Å e c = 11,05 Å e γ = 120° (Fig. 11a) [160]. A piezoeletricidade facilita a conversão mútua de energia elétrica ou pulsos em forças mecânicas ou oscilações. Para desenvolver instrumentos e geradores elétricos e de potência em miniatura, é altamente requerido sintetizar materiais piezoelétricos 2D para nova tecnologia nanoeletrônica. Neste dispositivo, a vibração, flexão e deslocamento em nível atomístico podem ser monitorados e então facilitar a coleta de energias cinéticas de oscilação de materiais piezoelétricos. A perda de centro-simetria é a principal especificação estrutural de materiais 2D com propriedades piezoelétricas [160]. Muitos tipos de materiais 2D, incluindo TMDCs com número ímpar de camadas, óxidos de metais de transição, nitreto de alumínio, GeS e SnSe2, h-BN e grafeno são capazes de mostrar propriedades piezoelétricas [161,162,163] em baixas temperaturas. Atualmente, é altamente requerido sintetizar novos materiais 2D com desempenho piezoelétrico estável em altas temperaturas operacionais. Este é um problema muito desafiador, já que os desempenhos de materiais piezoelétricos 2D falham devido a mudanças estruturais em altas temperaturas de trabalho. Outra dificuldade surge do estágio de deposição desafiador de filmes 2D piezoelétricos homogêneos de instrumentos funcionais.

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a A vista lateral de GaPO4 demonstrando a estrutura fora do plano de GaPO4. b Para o tratamento de fosfatização secundário. c Os estudos AFM e HRTEM de filme 2D de GaPO4. d O XRD, e Raman e f medição de banda proibida de filme 2D de GaPO4. Reimpresso com permissão de [160]

Como uma conquista bem-sucedida, o filme 2D piezoelétrico arquétipo de GaPO4 foi recentemente sintetizado via processamento de filme de óxido de superfície 2D de gálio. O GaPO4 arquétipo piezoelétrico não está naturalmente disponível em estrutura cristalina sacrificial [160], e assim as técnicas convencionais de exfoliação mecânica não são capazes de síntese de filmes cristalinos de fosfato de gálio 2D. Neste método, o filme natural de óxido de superfície de gálio foi exfoliado mecanicamente de sua liga líquida via técnica de delaminação vdW, veja Fig. 11b. O tratamento de pós-recozimento secundário foi empregado dentro de um forno para o tratamento de fosfatização secundário [61]. O gás de vapor contendo fósforo interagiu quimicamente com a superfície do filme 2D de Ga2O3 pelo aquecimento de pós de H3PO4. O gás N2 teve o papel de gás transportador para transferência de gás de vapor de fósforo à superfície do filme 2D de Ga2O3 a 300–350 °C (Fig. 11b). As seguintes medições AFM e HRTEM das amostras confirmaram a síntese de filme 2D de 1,1 nm de espessura com características dimensionais semelhantes ao GaPO4 trigonal na direção cristalina c (Fig. 11c) [160]. Os estudos XRD e caracterização Raman confirmaram que o filme 2D de GaPO4 tinha estrutura cristalina com domínio dos planos (003) e (102) do α-GaPO4 trigonal. (Fig. 11d, e). Uma banda proibida larga de 6,9 eV foi medida para filme de α-GaPO4 (Fig. 11f). As medições experimentais reafirmaram as fortes propriedades piezoelétricas fora do plano para as nanoestruturas 2D de GaPO3, que foi em torno de 8,5 pm V−1 [160]. Esta característica piezoelétrica considerável de α-GaPO4 2D destacou a capacidade deste método de síntese para desenvolver novos materiais 2D com propriedades mechano-elétricas distinguíveis.

GaN

A mesma abordagem de pós-processamento foi empregada para sintetizar filmes 2D de GaN e InN a partir do filme de óxido de superfície de gálio e índio líquidos [160]. A técnica baseia-se na impressão por compressão de gota de gálio líquido entre substratos paralelos Si/SiO2 (Fig. 12a). Em contato com atmosfera, o Ga líquido foi instantaneamente oxidado em condição atmosférica. O processo de síntese resultou na formação de filmes 2D de Ga2O3 com espessura de 1,4 nm [157]. A seguinte reação de amonólise a 800 °C foi operada na presença de ureia. Verificou-se que temperaturas de reação mais baixas não facilitaram a conversão de Ga2O3 em filmes de GaN wurtzita (Fig. 12b) [160]. A espessura do filme após o processo de amonólise foi encontrada como 1,3 nm, que corresponde a três células unitárias de GaN wurtzita (Fig. 12c). A constante de rede de 5,18 nm foi medida para filme 2D de GaN. Os estudos TEM também confirmaram a estrutura cristalina de GaN com espaçamento intercamada de 0,28 ao longo da placa cristalina (001) (Fig. 12d) [160]. A espectroscopia de fotoelétrons de raios X (XPS) afirmou a quantidade substancial de nitrogênio foi substituída por átomos de oxigênio na estrutura de GaN, o que se deve ao comprimento de ligação similar de Ga-O e Ga-N. Alvejou-se diminuir o nível de oxigênio em filmes 2D de GaN. No entanto, a remoção bem-sucedida de oxigênio dos filmes 2D de GaN não foi alcançada mesmo durante o processo de síntese em altas temperaturas. Uma banda proibida de Eg = 3,5 eV foi medida para filme 2D de GaN (Fig. 12e) comparada com a de filme de Ga2O3. A razão para a diminuição considerável na banda proibida foi atribuída ao deslocamento para cima da banda de valência do filme de GaN devido à hibridização dos orbitais O2p-N2p [160].

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a Ilustração esquemática da compressão de gota de metal líquido galinstan entre substrato SiO2 e b seguinte tratamento de pós-amonólise para transformação de fase de Ga2O3 para filme de GaN. c A imagem AFM de alta resolução da superfície de filme de GaN. d A imagem HRTEM de filme de GaN e e a medição de banda proibida de filme de GaN. Reimpresso com permissão de [160]

A estratégia similar foi usada para sintetizar filme 2D de InN via técnica de síntese de duas etapas [160]. Neste método, o filme 2D de In2O3 exfoliado vdW foi extraído da superfície de índio líquido. Uma etapa intermediária de brominação foi realizada para transferir In2O3 para InBr3. Um estágio de pós-processamento de 20 s de filme de In2O3 adjacente a fonte de HBr foi suficiente para completar a transformação de fase de In2O3 em InBr3 [61]. O seguinte tratamento de amonólise de filme 2D de InBr3 por fonte de NH3 na temperatura de 630 °C resultou na transformação de fase de InBr3 em InN [160]. Os seguintes estudos de caracterização confirmaram o desenvolvimento de nanoestruturas 2D ultrafinas cristalinas de InN wurtzita com constante de rede cristalina de 5,5 Å com banda proibida de 3,5 eV [160]. Geralmente, a técnica de síntese de múltiplas etapas foi encontrada como abordagem confiável para a síntese de nanoestruturas 2D avançadas usando o óxido de superfície de metais líquidos. As nanoestruturas 2D desenvolvidas demonstraram claramente características eletrônicas e optoeletrônicas novas que não são esperadas e observadas em nanoestruturas 2D similares, sintetizadas via métodos baseados em deposição de alto vácuo [164].

SnO/In 2 O 3 Heteroestruturas 2D

As heterojunções p-n são agora os blocos de construção dos dispositivos semicondutores onde as heterointerfaces entre dois materiais semicondutores com diferentes tipos de propriedades de mobilidade de carga são usadas para fabricar vários tipos de instrumentos eletrônicos e optoeletrônicos. Especificamente, dispositivos heteroestruturados baseados em filmes 2D podem ser desenvolvidos por várias abordagens e técnicas diferentes, incluindo exfoliação mecânica do material hospedeiro, CVD, ALD, epitaxia de feixe molecular e deposição a laser pulsado [165, 166]. Nova estratégia interessante foi recentemente empregada para fabricar materiais 2D em camadas heteroestruturados vdW via empilhamento de vários cristais 2D em camadas extraídos de seus metais e ligas baseados em líquido. Uma heterojunção p-n foi desenvolvida pela exfoliação vdW de filmes 2D de SnO e In2O3 [167]. Neste método, heteroestruturas 2D vdW de SnO/In2O3 foram desenvolvidas [167] pela transferência vdW de filme de óxido de superfície de estanho líquido (p-SnO) sobre o óxido de superfície natural de índio (n-In2O3). O filme heteroestruturado 2D desenvolvido finalmente composto de filmes 2D p-SnO/n-In2O3 anexados um sobre o outro via forças vdW (Fig. 13a, b) [167]. Os seguintes estudos microestruturais em níveis de escala atômica confirmaram a formação de heterointerfaces vdW entre filmes SnO/In2O3 com duas estruturas cristalinas com características diferentes fabricadas sobre substrato Si/SiO2 (Fig. 13c). O espaçamento de rede de 0,27 nm correspondeu ao plano (321) de In2O3 cristalino, e o outro filme 2D com 0,298 Å é atribuído ao plano (101) de SnO. O filme heteroestruturado teve espessura de 4,5 nm (Fig. 13d, e). Os estudos de caracterização Raman e óptica confirmaram o desenvolvimento de heterointerfaces com pico de absorção óptica de filme SnO/In2O3 localizado em 251 nm, que foi um número entre 246 nm (pico de absorção de SnO) e 256 nm (pico de absorção de In2O3 na Fig. 13f, g) [167]. Uma das principais propriedades do filme heteroestruturado foi o forte acoplamento intercamadas de portadores de carga que afetou a absorção óptica do filme 2D. A banda proibida do filme heteroestruturado foi estreitada para 2,30 eV, enquanto a banda proibida de SnO e In2O3 individuais eram 4,8 eV e 3,65 eV, respectivamente, [167]. O esquema de alinhamento de banda em heterointerfaces vdW de SnO2/In2O3 2D foi demonstrado na Fig. 13h. A banda proibida efetiva na junção p-n foi esperada ser 2,30 eV, que foi próxima ao valor calculado de banda proibida de filme heteroestruturado 2D do gráfico de Tauc. A banda proibida estreita assistiu a separação de carga nas heterointerfaces, assim, os elétrons-buracos fotoexcitados podem ser separados facilmente e podem migrar factivelmente da banda de valência de SnO para a banda de condução de filme de In2O3. O alinhamento específico de banda de energia nas heterointerfaces de SnO2/In2O3 vdW demonstrou capacidades bastante impressionantes e excelente fotodetectividade de 5 × 109 J com razão de fotocorrente de 24 e fotorresponsividade excepcional de 1047 A/W [167]. Aqui, a técnica de impressão de metal líquido foi encontrada como abordagem potencial valiosa para fabricação de materiais 2D heteroestruturados, que não existem naturalmente como estruturas em camadas na natureza.

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a Ilustração esquemática de fabricação de filme 2D heteroestruturado vdW SnO/In2O3. b A imagem HRTEM de filmes heteroestruturados SnO/In2O3. c A imagem HRTEM de estrutura atômica de filmes heteroestruturados mostra a alta estrutura cristalina de filmes SnO e In2O3 com sua distância de espaçamento de rede. d O AFM de filme heteroestruturado SnO/In2O3 com e a espessura do perfil dos filmes. f Os espectros Raman de SnO, In2O3 e SnO/In2O3 filmes 2D. g A absorção óptica de SnO, In2O3 e SnO/In2O3 filmes 2D. h O alinhamento de banda de SnO/In2O3 heteroestruturas 2D. Reimpresso com permissão de [167]

Portanto, os filmes naturais de óxido metálico ultrafinos na superfície de metais líquidos e ligas foram encontrados como materiais funcionais com aplicações tremendas. Natureza ultrafina, livre de poros e dimensões laterais consideráveis destes filmes acompanhados pela fácil delaminação vdW deles em substrato desejado forneceram uma grande plataforma para síntese bem-sucedida de nova geração de materiais 2D e instrumentos eletrônicos relacionados [168]. A Tabela 4 forneceu uma informação representativa sobre os materiais 2D e dispositivos baseados em filme de óxido de superfície 2D de metais líquidos e ligas desenvolvidos recentemente.

Novas Aplicações de Semicondutores 2D

Memristores Baseados em Semicondutores 2D

A tecnologia da informação hoje enfrenta o rápido crescimento da quantidade de dados gerados. O processamento de dados na nova era requer desenvolvimento de tecnologias avançadas de armazenamento de dados muito além do conceito de tecnologia atual baseada em silício. Hoje, memórias baseadas em Si estão enfrentando seus limites tecnológicos, além disso, instrumentos CMOS complementares também estão sofrendo com retrações dimensionais físicas e problemas tecnológicos [169]. Consequentemente, é altamente requerido desenvolver novos materiais nanoestruturados com propriedades melhoradas e também modificar dispositivos existentes para contornar as restrições tecnológicas relacionadas à capacidade de armazenamento de unidades de memória. A tecnologia von Neumann tenta emular o mecanismo de funcionamento do cérebro humano onde as redes complicadas de sinapses biológicas interconectadas nos permitem memorizar, aprender, lembrar, reconhecer, processar e entender operações multi-tarefa com consumo mínimo de energia. Um consumo médio de energia para um evento sináptico singular está na faixa de 1–10 fJ, que é pelo menos 5 ordens de magnitude menor que o consumo de energia de computadores convencionais existentes [170]. A arquitetura de tecnologia von Neumann atual não é eficiente, pois suas unidades de memória e processamento são fisicamente separadas. Um memristor não volátil de baixo consumo de energia com dimensões nanométricas, alto desempenho e velocidade de processamento melhorada pode responder à tecnologia de memória atual que está em seu estágio de gargalo [170]. Em relação às questões de consumo de energia, materiais 2D podem ser empregados como memristores nanoestruturados ultrafinos. O comportamento de comutação resistiva (RS) de materiais 2D também foi explorado recentemente. Verificou-se que o emprego de materiais 2D em unidades de memória poderia potencialmente enfrentar as limitações atuais em dispositivos de memória [171]. Recentemente, as características não voláteis de materiais 2D foram extensivamente investigadas e caracterizadas. Materiais semicondutores 2D em camadas e filmes ultrafinos de óxido possuem uma ampla gama de propriedades em vários campos, que também podem ser acompanhadas por suas características memristivas.

Memristores Baseados em TMDCs

O desenvolvimento recente em tecnologia de fabricação de nanodispositivos permitiu o emprego de filmes ultrafinos de TMDC em instrumentos funcionais. CVD e CVD metalorgânico foram empregados com sucesso para depositar monocamadas de MoS2, MoSe2, WS2 e WSe2 2D em configuração vertical em sanduíche entre eletrodos de Au sobre substrato Si/SiO2 (Fig. 14) [172]. Foi confirmado que filmes de monocamada TMDC não tinham fronteiras de grão e estavam vazios de compostos de óxido. Assim, uma heterointerface livre de óxido aguda foi moldada entre eletrodos de Au e filmes 2D TMDC. Esta heterointerface aguda e limpa aumentou a possibilidade de medição precisa de propriedades elétricas de filmes 2D. O esquema gráfico dos dispositivos memristores, a vista superior do dispositivo e a imagem TEM transversal de memristor Au/MoS2/Au são apresentados na Fig. 14a–c, respectivamente. A caracterização de MoS2 2D por microscópio de tunelamento de varredura de resolução atômica (STM) (Fig. 14d) demonstrou qualidade relativamente alta e adicionalmente mostrou defeitos locais de vacância de enxofre no filme de MoS2. A unidade baseada em filme de monocamada de MoS2 verificou alta razão on/off acima de 104 e o correspondente tempo de retenção tão alto quanto 106 s. A comutação resistiva bipolar foi observada no comportamento de todos os memristores baseados em MoS2, MoSe2, WS2 e WSe2 filmes 2D. Ambos os comportamentos de comutação resistiva unipolar e bipolar foram detectados durante o estudo da resposta de comutação resistiva de filmes de MoS2. O aumento abrupto da corrente do dispositivo em todas as amostras indicou a ocorrência de fenômeno de ruptura dielétrica. A formação de filamentos condutivos (FCs) na camada ativa 2D de memristores foi o principal mecanismo de RS (Fig. 14e–i). Assim, a eletroformação pode ser evitada pela redução da espessura da camada ativa de memristor para a faixa de poucos nanômetros. A principal desvantagem desta estratégia é a corrente de fuga excessiva originada do tunelamento assistido por armadilhas [165]. Ocasionalmente, RS unipolar foi observado em certas unidades metal/isolante/metal de monocamada de MoS2 como mostrado na Fig. 14f. O comportamento típico de RS bipolar também foi apresentado no estudo do comportamento resistivo de atomristores baseados em filmes de monocamada de MoSe2, WS2 e WSe2, respectivamente [172].

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a Interpretação esquemática de dispositivo atomristor metal/isolante/metal baseado em monocamadas TMDCs, b a imagem óptica correspondente do dispositivo e a c imagem TEM transversal de dispositivo Au-Monocamada MoS2-Au. d A imagem STM de resolução atômica de monocamada de MoS2 depositada em eletrodo de Au. As vacâncias de enxofre indicadas por linhas tracejadas. e A curva típica I-V de dispositivo atomristor baseado em monocamada de MoS2. O comportamento típico de RS bipolar é observado. f O comportamento ocasional de RE unipolar de dispositivo em monocamada de MoS2. g, h e i gráficos demonstram respectivamente o comportamento típico de RS bipolar de dispositivos atomristores baseados em filmes de monocamada de MoSe2, WS2 e WSe2. Reimpresso com permissão de [172]

Em outra configuração, um memristor baseado em monocamada de MoS2 foi desenvolvido onde um eletrodo de Cu foi empregado como eletrodo ativo para fabricar dispositivo de memória de metalização eletroquímica [173]. Neste instrumento, o filme de Au desempenha o papel de eletrodo condutor inerte. O esquema deste dispositivo é demonstrado na Fig. 15a. Devido à difusão de íons de Cu na camada de MoS2, um filamento atômico condutivo de Cu é formado na dupla monocamada de MoS2. Portanto, este memristor enquadra-se na categoria de memórias de metalização eletroquímica (ECM), enquanto o desempenho memristivo de outro dispositivo 2D de MoS2 com eletrodo inerte (similar Au) é baseado na migração de vacâncias de enxofre. As vacâncias de enxofre em filmes finos de MoS2 fazem filamentos condutivos com dimensões em escala atômica, e portanto estes tipos de memristores de MoS2 são conhecidos como memórias de mudança de valência (VCM) [173].

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A imagem óptica de dispositivo memristor Cu/MoS2 dupla camada/Au com barra de escala de 100 μm acompanhada pelo esquema gráfico do dispositivo com eletrodo superior de Cu e inferior de Au. A área de barra transversal do memristor é 2 × 2 μm2. b A curva I-V de dispositivo memristor com RS bipolar com tensão de Set de 0,25 V e tensão de Reset de −0,15 V. e A curva I–V em escala logarítmica de dispositivo para estado pristino antes e depois do processo de formação, e para LRS e HRS após o processo de formação. Reimpresso com permissão de [173]

No ECM fabricado (Fig. 15), a bidimensionalidade e metalização eletroquímica por filamentos catiônicos de Cu resultaram na diminuição considerável da tensão de comutação para 0,2 V (Fig. 15b). Esta característica surgiu da menor energia de ativação de difusão de cátions de Cu na camada de MoS2 comparada com a de vacâncias de enxofre em filme 2D de MoS2 [173]. A comutação resistiva bipolar foi a principal característica da curva I-V de memristor com tensão de set em 0,25 V e tensão de reset em −0,15 V. Observou-se que a maioria dos memristores de dupla camada de MoS2 são livres do processo de formação. Usando um memristor de dupla camada de MoS2, o mecanismo de transporte em dispositivo Cu/dupla camada MoS2/Ag foi investigado. A Figura 15b descreve as características I–V de memristor antes do processo de formação (estado pristino) bem como para HRS e LRS (após formação). O instrumento funcionou em estado pristino com resistência de 16,6 kΩ quando a tensão aplicada na unidade foi menor que 0,3 V. Tunelamento quântico foi reconhecido como mecanismo de condução em memristor no estado pristino. Nesta condição, a resistência é muito maior que a resistência do dispositivo após o processo de formação de memristor. O aumento adicional de tensão aplicada além de 0,3 V em estado pristino é acompanhado pela transição na curva I–V para a região de inclinação 2 (I ∝ V2), que corresponde aos estados de condução limitados por espaço. O aumento dramático de corrente após aumento de tensão aplicada (além de 0,6 V) é atribuído à formação de filamentos condutivos de Cu no filme de MoS2 (Fig. 15c). Tensão imposta mais alta no eletrodo de Cu resultou na oxidação do eletrodo superior de Cu. Isso resultou na migração de cátions de Cu em direção ao eletrodo inferior de Au para reduzir e depositar lá. Os filamentos condutivos de Cu foram construídos ao longo das fronteiras de grão defeituosas do filme 2D de MoS2 e o dispositivo comutou para LRS.

Comutação Resistiva Complementar em Filmes de Óxido de Metais de Transição

A dopagem iônica de filmes semicondutores pode alterar tangivelmente o mecanismo de transferência de carga nestes filmes ultrafinos. As características memristivas de 2 semicondutores também são tangivelmente afetadas pela presença de outras espécies iônicas estrangeiras dentro dos materiais ativos de memristores. TiO2 é um dos semicondutores bem conhecidos com características de comutação resistiva. Um filme de TiO2 ALD de 7,0 nm de espessura foi usado para investigar o impacto de intercalação iônica na comutação resistiva deste filme ultrafino [174]. Para entender o efeito de intercalação de Índio (In) na camada ativa de memristor (TiO2), um conjunto de incorporação iônica foi feito. A intercalação iônica neste conjunto foi facilitada pela tensão de acionamento imposta na solução contendo íons cobrindo a superfície do filme 2D de TiO2. As medições potenciodinâmicas (varredura I–V) de Pt/TiO2/Au e Pt/In-dopado TiO2/Au memristor sob condição de escuridão mostraram diferentes mecanismos de RS para filmes de TiO2 dopados com íon In e não dopados. Dispositivo Pt/TiO2/Au mostra comportamento de comutação bipolar (Fig. 16a). O VSet = 0,94 e VReset = −0,98 durante medição de varredura I–V foram observados [174]. Um comportamento de RS bipolar de filme foi explicado pelo deslocamento iônico de vacâncias de oxigênio devido à tensão empregada nos eletrodos eletroquimicamente inertes Au e Pt. Esta unidade é categorizada como células VCM. A representação esquemática da distribuição de vacâncias de oxigênio para ambos os estados off e on são mostradas na Fig. 16b e c. O membro dielétrico de memristor é caracterizado com duas partes: TiO2-x de baixa condutividade com espessura de t e parte isolante com espessura de D-t. A tensão aplicada no eletrodo causou o deslocamento iônico de vacâncias de oxigênio, que é acompanhado pelo deslocamento da fronteira entre componente de baixa condutividade e parte isolante da camada ativa de memristor. Nesta condição, a curva I–V do dispositivo não é mais Ôhmica e será não-linear. Neste modelo proposto, a espessura da camada isolante deve ser pequena o suficiente (poucos nanômetros) para deixar o campo elétrico desenvolver e promover o deslocamento iônico de defeitos [174].

Domínio de Nanomateriais Semicondutores 2D: Síntese de Precisão e Aplicações Revolucionárias

a Representação típica em escala logarítmica de gráfico de varredura I–V de memristor Pt/In-dopado TiO2/Au. b Dispositivo está desligado, os cátions metálicos são distribuídos na camada superior de TiO2 dopado com In. c A formação de canais condutivos filamentosos, o dispositivo é ligado (Set, etapa 1). d O esgotamento de cátions metálicos adjacentes ao eletrodo inferior. O dispositivo é desligado novamente (Reset, etapa 2). e Ao impor tensão de gate reversa, os cátions metálicos novamente se movem em direção ao eletrodo catódico (eletrodo superior Pt) e novamente formam uma ponte de cátions metálicos e o dispositivo é ligado (Set-etapa 3). f Pelo esgotamento de cátions metálicos, no eletrodo Pt o dispositivo é desligado novamente (Reset, etapa 4). Reimpresso com permissão de [174]

O filme de TiO2 dopado com In demonstrou um comportamento de comutação resistiva complementar (CRS) durante a varredura de tensão entre −1,0 V e +1,0 V (Fig. 17a) dispositivo é ligado em uma tensão mais alta e novamente desligado em outra tensão mais baixa da mesma polaridade [174]. A célula foi ligada pela primeira vez em VSet1 = 0,732 V e então desligada novamente na mesma polaridade em VReset1 = 0,1277 V. Na tensão negativa, a segunda comutação LRS para HRS ocorreu em VSet2 = −0,7055 V e novamente desligada para HRS em VReset2 = −0,0901 V. Mecanismo de transferência de carga termicamente assistido é a teoria mais possível que explica a comutação resistiva no filme 2D de TiO2 dopado com íon. A comutação unipolar confirma a natureza filamentosas da comutação resistiva. A comutação resistiva filamentosas é baseada principalmente na ECM das espécies iônicas móveis causadas pela migração de cátions metálicos. Facilita o desenvolvimento de pontes metálicas filamentosas (estado on), que podem ser rompidas depois (estado off). O mecanismo filamentosas é a característica deste memristor, que é fabricado com eletrodos eletroquimicamente ativos, enquanto o memristor de TiO2 dopado com In foi em sanduíche entre eletrodos inertes Au e Pt. Espera-se que o comportamento de comutação do dispositivo de TiO2 dopado com In tenha se originado da migração de ambos os componentes aniônicos e catiônicos. O comportamento de comutação versátil do dispositivo de TiO2 dopado com In pode provar que ambos os componentes aniônicos e catiônicos estão envolvidos nos mecanismos CRS. O modelo proposto sugeriu que a redistribuição de vacâncias de oxigênio e íons de Índio dentro da camada de TiO2 pode afetar, alterar e facilitar a RS. Nas pilhas de óxido heteroestruturadas, a conjunção de uma camada de óxido deficiente em oxigênio (modo LRS) com outra camada rica em oxigênio (modo HRS) dispara o CRS de memristor heteroestruturado, que é causado pelo movimento de vacâncias de oxigênio. Esta mudança gradual de concentração de oxigênio pode disparar a ocorrência de CRS de memristor devido à diferença de resistência da pilha de TiO2. De outro ponto de vista, a formação de canais condutivos filamentosos auxilia a RS e aumenta a condutância do dispositivo. No estado inicial ou off (Fig. 17b), a camada superior dopada com In está em modo LRS enquanto a camada inferior está em HRS. Ao aplicar a tensão de limiar, as espécies iônicas migram para a camada inferior mais isolante, resultando na formação de filamentos condutivos e caminhos (Fig. 17c) e então o dispositivo alcança seu estado on (Set 1). Em tensão positiva mais alta, as espécies iônicas na camada superior (principalmente íons In) são esgotadas (Fig. 17d) e novamente o dispositivo alcançará seu estado off (Reset 2) e demonstrará comportamento HRS. O fenômeno similar é esperado para ocorrer nos vieses negativos, nos quais o primeiro estado on (Fig. 17e) comuta o memristor para novo LRS, seguindo outro estado off após esgotamento das espécies iônicas (Fig. 17f). A versatilidade do comportamento CRS de todas as amostras foi testada repetidamente várias vezes e o mesmo comportamento foi observado.

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Células de barra transversal empilhadas Pt/TiO2/Ti/Pt: a a vista superior SEM de ponto de cruz (60 nm)2, b A imagem TEM transversal de dispositivo Pt/TiO2/Ti/Pt de 100 nm2 com c seu gráfico esquemático correspondente da região de plug e disco na camada de TiO2. Reimpresso com permissão de [174]

Sinapses Ópticas Artificiais Baseadas em Semicondutores 2D

A operação do cérebro humano é altamente eficiente energeticamente. O armazenamento e processamento de dados funcionam no cérebro com o menor consumo de energia possível. Este consumo de energia ultra-baixo é inspirado pelas funcionalidades do sistema nervoso biológico. Baseado no desempenho do cérebro, um novo tipo de sistema de computação e processamento foi proposto por Alan Turing em 1948, quando ele introduziu a ideia de usar um dispositivo de computação com rede interconectada de neurônios artificiais [175]. Prevê-se que a rede interconectada de sinapses artificiais pode efetivamente resolver e superar as restrições da computação tradicional de van Neumann. As sinapses biológicas, como um dos membros-chave do sistema neural, são os canais de informação garantindo computação de curto prazo, aprendizado e memorização de longo prazo pelo ajuste dos pesos sinápticos [176]. Como uma estrutura biológica, uma sinapse química é uma conexão com intervalo entre dois neurônios através da qual a comunicação entre dois axônios individuais é criada por reações bioquímicas. A sinapse é uma junção biológica onde as ondas eletroquímicas (potenciais de ação) são transmitidas através dos axônios do neurônio. O consumo de energia de um evento sináptico biológico é tangivelmente menor que o de qualquer outro dispositivo similar. Analogamente, uma sinapse artificial é uma unidade que imita o comportamento e desempenho da junção sináptica biológica para transferir sinais sinápticos. Do ponto de vista técnico, memristores são os melhores candidatos capazes de emulação bem-sucedida das características de uma sinapse biológica [177]. O mecanismo de comutação resistiva é o princípio básico dos memristores. Um isolante em sanduíche ou óxidos de metais de transição entre dois eletrodos condutores é a estrutura típica de um dispositivo sináptico artificial. As propriedades sinápticas são observadas em variedade de materiais com diferentes mecanismos resistivos e sinápticos. De fato, a diversidade de materiais com características sinápticas experimenta um progresso rápido, e assim, a compreensão fundamental dos mecanismos sinápticos relacionados está progredindo atualmente. Memórias de acesso aleatório resistivas (RRAMs) de óxido metálico (como TiO2, AlOx, HfOx, WOx, TaOx), sinapses de ponte condutiva (eletrodos baseados em Ag e Cu), sinapses baseadas em materiais de mudança de fase (sinapse PC), sinapses baseadas em materiais ferroelétricos, sinapses baseadas em magnetorresistivos (MR), sinapses baseadas em nanotubos de carbono e sinapses baseadas em nanoestruturas orgânicas são alguns dos materiais memristores ativos que demonstraram características sinápticas atraentes [177]. Dispositivos sinápticos estimulados opticamente foram recentemente introduzidos na tecnologia de telecomunicações. Em sinapses ópticas, pulsos ópticos de luz estimulam a geração de portadores de carga entre dois eletrodos condutores. Os portadores de carga fotogerados em filme 2D atômico de MoS2 permitem a modulação dos pesos sinápticos com pulsos fotônicos. Esta capacidade óptica de sinapse artificial é altamente importante, pois capitaliza a possibilidade de protocolos de comunicação óptica de alta largura de banda. O esquema de unidade sináptica 2D baseada em MoS2 é representado na Fig. 18a [178]. Como o principal privilégio, a incorporação de pulsos ópticos e elétricos abordou diferentes mecanismos de aprisionamento de carga para modular precisamente os pesos sinápticos. Além disso, o instrumento foi capaz de neuromodulação para alcançar as propriedades de plasticidade e metaplasticidade via controle dinâmico de plasticidade dependente de tempo de pico (teoria de Hebbian). O esquema de circuito analógico é demonstrado na Fig. 18b representando a interação entre plasticidade Hebbian e homeostática. A interação entre plasticidade sináptica Hebbian e homeostática em sinapse de MoS2 é fornecida na Fig. 18c–e, respectivamente. A força de potenciação de longo prazo foi alcançada pelo emprego de pulsos de treinamento voltaicos sequenciais no instrumento sináptico. Observou-se que os pesos sinápticos aumentam linearmente pelo aumento do número de pulsos de treinamento. Também foi demonstrado que a aplicação de 100 pulsos de treinamento resultou em mudança de peso de sinapse até 117% no modo eletrônico, enquanto o mesmo número de pulsos de treinamento no modo ionotrônico resultou no aumento de peso até 223%. (Fig. 18c, d) [178]. Na unidade sináptica estimulada opticamente, uma forte potenciação de longo prazo foi observada na sinapse artificial 2D de MoS2 via uso da função de gating óptico (modo fotoativo). Os pulsos de luz (λ = 445 nm) desempenharam o papel de sinais pré-sinápticos. Após a iluminação na superfície da sinapse 2D de MoS2, a condutância aumentou rapidamente e então continuou até a saturação gradual quando a condutância foi uma ordem de magnitude acima do valor de corrente escura. Uma queda rápida de condutância ocorreu na terminação da fonte de iluminação óptica, mas a condutância ainda permaneceu em valores altos (Fig. 18e). A transição banda a banda é esperada ser a principal razão para transição rápida, enquanto os valores de condutância alta duradouros no modo optoeletrônico foram atribuídos à recombinação lenta centrada em defeito ou armadilha de elétrons/buracos gerados. As observações estão de acordo com o modelo proposto de flutuação de potencial local aleatório (RLFP). Este estado é chamado de condutividade persistente [178]. Pelo aumento de pulsos ópticos e maior número de fótons, o tempo de decaimento tornou-se mais lento. Isso é consistente com o modelo RLPF onde maiores números de portadores ocupam sítios de mínimos de potencial local, e portanto, a taxa de recombinação de elétron/buraco seria mais lenta. A manifestação vívida deste fenômeno é a degradação mais lenta de corrente fotogerada em dispositivo sináptico.

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Esquema gráfico de arquitetura de modulação tripla de dispositivo sináptico artificial 2D de MoS2. b O circuito analógico representando a interação entre os vários parâmetros para estimulação de plasticidade sináptica. c A interação entre a plasticidade Hebbian e sináptica em dispositivo sináptico 2D baseado em MoS2, que representa o aumento na força de funcionalidades de potenciação de longo prazo do dispositivo como função de treinamento por modo eletrônico, d Modo ionotrônico e e modo fotovoltaico. No modo fotovoltaico, a intensidade de luz é alterada (de 0,5 a 5,25 mW mm−2) para permitir treinamento por pulsos ópticos. Reimpresso e reproduzido com permissão de [178]

Sinapse óptica de dois terminais baseada em filme ultrafino de TiO2 dopado com In também foi fabricada para emulação das funcionalidades sinápticas [174]. Os íons In foram dopados em filme de TiO2 de ~7,0 nm de espessura depositado por técnica ALD. Observou-se que a dopagem iônica afetou o mecanismo de RS e também estendeu a borda de absorção óptica do filme 2D ultrafino de TiO2 para a faixa de luz visível. Foi medido que a tensão de set do dispositivo sináptico baseado em TiO2 foi deslocada para tensões mais baixas após estimulação óptica de memristor de TiO2 dopado com In. Estas observações (Fig. 19a) confirmaram o impacto de elétron/buraco fotogerados na ocupação de sítios de armadilha em filme de TiO2 amorfo e consequentemente resultaram na diminuição da tensão de set (Fig. 19b) e aumento da condutância de memristores (Fig. 19b). Além disso, o aumento na intensidade de luz afetou ligeiramente a tensão de set de memristores, que é uma indicação de estado de saturação no número de portadores de carga fotogerados. Portanto, não deixa o dispositivo alcançar valores mais baixos de VSet. A emulação de características sinápticas ópticas foi verificada pela observação de corrente pós-sináptica não descarregada causada por pulso óptico singular (Fig. 19c). Valores de sinapse PPF foram demonstrados por dois picos EPSC consecutivos com intervalos de pulso de 0,3 s (Fig. 19d). A decadência rápida do índice PPF do dispositivo [a razão da amplitude do 2º EPSC (A2) para o 1º EPSC (A1)] foi descoberta após o aumento dos intervalos de pulso. Mostra a sensibilidade da plasticidade de curto prazo de sinapses ópticas à sequência de pulsos ópticos (Fig. 19e). O consumo de energia calculado de dispositivo sináptico óptico de TiO2 dopado com In para um pulso singular foi estimado em torno de 2,41 pJ (sinal óptico pulsado com duração de 10 ms) (Fig. 19e). Observou-se que o consumo de energia de sinapse óptica de TiO2 ultrafino dopado com In foi altamente eficiente [174]. Além disso, quando pulsos de laser sucessivos com diferentes frequências foram empregados, transição de STP para LTP emulada pela mesma unidade sináptica óptica (Fig. 19f). Estes resultados demonstraram claramente que os estímulos ópticos com intervalos de pulso mais baixos são benéficos para facilitar as capacidades de LTP. Observações também confirmaram que intervalos de pulso mais curtos resultaram em valores de ganho mais altos consistentes com o efeito de portadores gerados residuais nos pulsos seguintes [174]. A saturação de EPSC e condutância também foram detectadas e observadas durante o estudo do comportamento sináptico de sinapses artificiais. Este fenômeno foi atribuído à saturação de elétrons/buracos fotogerados. Também foi mostrado que o instrumento foi capaz de emulação de comutação analógica bidirecional.

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As características sinápticas ópticas de filmes ultrafinos de TiO2 dopados com In. a As curvas I–V em escala logarítmica de dispositivo sináptico ITO/In-dopado/Au. Variação da tensão de set e condutância vs mudanças de intensidade de luz para lasers pulsados. c O EPSC de dispositivo sináptico induzido por pulso de laser de 7 μW cm−2. d O PPF de dispositivo. e A variação do índice PPF vs. os intervalos de pulso. Inset mostra a variação do consumo de energia vs. duração de pulso. f A variação do EPSC de dispositivo sináptico estimulado com luz pulsada com diferentes intervalos de pulso. Reimpresso com permissão de [174]

Nociceptores Ópticos Artificiais Baseados em Semicondutores 2D

Imitar as funcionalidades do cérebro humano usando tecnologias baseadas em neuromórfico é conquista bastante essencial para o desenvolvimento de instrumentos eletrônicos bio-inspirados artificialmente engenheirados [52]. A emulação do sistema sensorial humano e as funcionalidades sensoriomotoras são obstáculos significativos em estudos biomiméticos. O processamento visual é cumprido por características excepcionais do olho humano (Fig. 20a) [52]. Olho, como detector e processador visual natural, consiste de um grande número de receptores e nociceptores (Fig. 20b–d). De fato, nociceptor é um receptor sensorial chave que reconhece estímulos nocivos, que por sua vez gera e entrega sinais de alerta ao sistema nervoso central. A córnea tem o maior número de nociceptores no olho humano e a maioria dos nociceptores corneais são polimodais. Olhando para o sistema nervoso, a sinapse biológica é a base fundamental do sistema sensoriomotor facilitando várias funcionalidades, incluindo a transferência de sinal de dor no sistema neural (Fig. 20e). O dispositivo nociceptivo artificial análogo com funcionalidades sinápticas similares é composto de um filme semicondutor ultrafino em sanduíche entre duas camadas condutivas (Fig. 20f).

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Esquema do sistema de receptor e nociceptor do olho humano. a O cérebro humano como unidade de tomada de decisão recebe os sinais informativos de b olho humano e seus componentes sensoriais, incluindo c receptores de luz e nociceptores na seção da Retina. d Mostra um nociceptor típico com seus componentes. e É a representação esquemática típica de uma sinapse natural e f suas contrapartes artificiais na configuração em sanduíche condutor/semicondutor/condutor. Reimpresso com permissão de [52]

Nociceptores ópticos artificiais construídos sobre heteroestruturas de óxido total amorfas ultrafinas com transporte iônico, características elétricas anisotrópicas e transparência final. Um filme 2D heteroestruturado de Ga2O3/TiO2 foi fabricado para fazer um dispositivo nociceptor óptico [179]. Para alterar as heterointerfaces entre eletrodos de Au e filmes semicondutores ópticos de TiO2, o filme 2D de Ga2O3 foi recozido em atmosfera de N2. A incorporação bem-sucedida de átomos de N2 no filme ultrafino de Ga2O3 foi acompanhada por transformação de fase de Ga2O3 em fase mais condutiva. Medidas de espectroscopia Raman mostraram o pico característico de ligação Ga-N após processo de recozimento em atmosfera de N2 [179]. O filme de Ga2O3 ainda estava em alto nível de transparência (até 90%) [179]. Dos espectros PL, encontra-se que a banda proibida de WO3 2D é em torno de 2,88 eV. Os espectros PL também mostraram modificação notável de banda proibida após RTA de filme 2D de Ga2O3 em atmosfera de N2. A banda proibida de filme de Ga2O3 de 5 nm de espessura foi deslocada de 4,1 eV para 3,46 eV para filme de Ga2O3 dopado com N2. Observou-se que as vacâncias de oxigênio foram substituídas por nitrogênio atômico na nanoestrutura de Ga2O3. A engenharia de heterointerface de Ga2O3 2D (N2)/TiO2 alterou o mecanismo de comutação resistiva de filme de memristor heteroestruturado 2D [179]. Um comportamento de auto-retificação foi observado durante a medição de comportamento resistivo óptico de filmes heteroestruturados. Os estudos mostram como a incorporação de N2 alterou consideravelmente o alinhamento de banda de energia nas heterointerfaces de Ga2O3/TiO2 [179]. Assim, os mecanismos de transferência de carga nas heterointerfaces Ga2O3:TiO2 e Ga2O3 (N2)/TiO2 são esperados ser diferentes. Um desempenho de comutação resistiva bipolar foi observado durante teste cíclico I–V de dispositivo Au/Ga2O3–TiO2/ITO sob iluminação de luz visível. A razão HRS/LRS ajustável e características de abertura de laço são os principais privilégios de memristor óptico Au/Ga2O3/TiO2/ITO sob iluminação de luz visível. O dispositivo heteroestruturado Ga2O3 (N2-600 °C)/TiO2 experimentou forte comportamento de retificação, que é uma característica do desenvolvimento de heterointerface tipo-II [52, 179, 180]. Assim, a principal característica deste dispositivo é sua corrente memristiva nanométrica ultra-baixa, que mostra a capacidade desta unidade para fabricação de instrumentos baseados em comutação resistiva de auto-retificação com baixo consumo de energia. O comportamento nociceptivo foi observado durante o estudo da reação de Au–Ga2O3/TiO2–ITO e Au–Ga2O3 (N2-600 °C)/TiO2-ITO. O tempo de ignição (t0) e tempo de saturação (ts) dos nociceptores baseados em Ga2O3 (N2)/TiO2 são mostrados na Fig. 21a [179]. O fenômeno de relaxamento é outra característica de nociceptores, que foi observado nas heteroestruturas baseadas em Ga2O3 (N2)/TiO2 (Fig. 21b). Após a ignição do nociceptor, o tempo final para a recuperação do nociceptor para estado off é chamado de tempo de relaxamento. Este comportamento é similar às características de não-adaptação dos nociceptores humanos, quando os sinais de alerta gerados protegem os órgãos humanos de exposição adicional desnecessária a estímulos perigosos [180, 181]. Também foi encontrado que o tempo de relaxamento é função da frequência da luz pulsada. O estado anormal é uma condição quando um componente nociceptor experimenta sinais estimulantes que são mais fortes que seu limiar natural. No estado anormal, o nociceptor performa similar ao sistema de receptor. A Figura 21c mostra a diferença entre a reação optorresponsiva de um nociceptor anormal e normal. Representa como nociceptores danificados mostram reação à luz visível constante. A alodinia e hiperalgesia são as características individuais de nociceptor danificado no estado anormal. A resposta do nociceptor é continuamente aumentada e o dispositivo não seguiu o modo de não-adaptação quando a intensidade de luz é aumentada (Fig. 21d) após 5 min de iluminação, que é o comportamento característico de nociceptores no estado anormal [179]. Geralmente, verificou-se que a nanoengenharia e funcionalização de heterointerfaces semicondutoras facilitaram a fabricação de gadgets fotoreceptores e nociceptores bio-inspirados inteligentes com características de auto-adaptação.

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a O comportamento nociceptivo fotoinduzido de dispositivos heteroestruturados baseados em Ga2O3 (N2)/TiO2. O efeito de intensidade de luz (λ = 655 nm) no tempo de limiar (t0) e tempo de saturação (ts) de nociceptor de Ga2O3 (N2)/TiO2. A frequência de luz foi 20 Hz. b As características de relaxamento de nociceptor Au-Ga2O3 (N2)/TiO2-ITO. A frequência de luz foi 20 Hz. c A distinção do comportamento fotorresponsivo de nociceptor Au-Ga2O3 (N2)/TiO2-ITO em estado normal e anormal. A frequência de luz foi 20 Hz. d O comportamento de alodinia e hiperalgesia de opto-nociceptor Au-Ga2O3 (N2)/TiO2-ITO. Reimpresso com permissão de [179]

Conclusões

A presente revisão delineou os avanços mais recentes no desenvolvimento de nanomateriais semicondutores 2D em escala de wafer para dispositivos práticos fabricados por técnicas CVD e ALD. Cada uma destas técnicas tem suas próprias características únicas, méritos, complexidade, arquiteturas e atratividade. Apesar do progresso rápido nas técnicas de deposição de materiais 2D, é justo dizer que este campo ainda está em estágio de progresso. Oportunidades funcionais absolutamente novas podem ser iniciadas e lançadas se a próxima geração de instrumentos funcionais avançados for baseada em semicondutores 2D. Especificamente, o desempenho excepcional destes dispositivos pode ser alcançado através do empilhamento combinatório multi-camadas de nanomateriais 2D em camadas. Considerando que cada um dos materiais 2D tem funcionalidades bastante diferentes, nanomateriais multifuncionais podem ser criados com enormes vantagens em termos de energia e volume. Pode-se prever que uma biblioteca de materiais 2D e nano folhas é necessária para ser atualizada e renovada regularmente. Além disso, a biblioteca de materiais 2D é necessária para ser estendida usando métodos inovadores para síntese de materiais 2D de novas fontes de materiais.

Além disso, alguns dos inconvenientes da fabricação de materiais 2D mencionados na revisão podem ser resolvidos obtendo mais conhecimento sobre formação de nanointerfaces. Neste caso, a etapa de nucleação e o crescimento epitaxial têm que ser controlados para evitar ou ajustar eventual camada de interface e defeitos na interface, bem como o estresse mecânico e a deformação de rede que podem ocorrer em heteroestruturas vdW. Tais imperfeições de empilhamento têm efeitos drásticos nas propriedades físicas, e portanto, devem ser abordadas para implementação das estruturas finais. Além disso, o ângulo de rotação relativo entre ambas as camadas influencia diretamente as deformações elásticas e, portanto, seu ajuste permite personalizar as propriedades eletrônicas de toda a estrutura. Neste sentido, controlar a orientação de empilhamento de heteroestruturas 2D fabricadas por ALD permitiria a fabricação de materiais 2D que ainda não foram explorados e estipular novos caminhos para fabricação de dispositivos eletrônicos 2D, como FETs, memristores, células de memória de comutação resistiva e sistemas microeletromecânicos. Para permitir crescimento controlado de sucessivas camadas 2D ALD, funcionalização de superfície (química ou física) pode ser necessária. Apesar do eventual crescimento induzido por vdW, a falta de ligações pendentes na superfície 2D pode inibir a deposição subsequente. Consequentemente, a funcionalização específica poderia ser realizada para permitir a nucleação ALD enquanto preserva as propriedades intrínsecas do material subjacente.

Para maior progresso na fabricação ALD de vários semicondutores 2D, novos precursores ALD devem ser desenvolvidos permitindo expansão mais ampla da técnica ALD no campo de nanomateriais 2D. Neste sentido, vários materiais 2D previstos, como siliceno, germaneno, fosforeno, bem como teluretos, ainda não foram fabricados por ALD devido à falta de precursores adequados. Também deve ser apontado que, embora o grafeno seja o material 2D mais estudado, seu ALD ainda é desafiador, o único processo ALD disponível levando a qualidade de material inferior à obtida usando técnica CVD.

Finalmente, um dos principais desafios destacado em muitos relatórios publicados recentemente é a transição de nanomateriais 2D e suas heteroestruturas para várias aplicações industriais. Atualmente, apenas grafeno produzido por CVD está sob tal transição. Assim, pode-se prever que progressos de ALD e CVD de nanomateriais 2D, em particular crescimento direto em escala de wafer sem fronteiras de grão em dispositivos integráveis, permitirão sua rápida industrialização e comercialização.

Disponibilidade de dados e materiais

Não aplicável.

Abreviações

ALD:

Deposição de camada atômica

CVD:

Deposição química de vapor

SEM:

Microscopia eletrônica de varredura

EDS:

Espectroscopia de energia dispersiva

XPS:

Espectroscopia de fotoelétrons de raios X

UV–vis:

Ultravioleta–visível

FTIR:

Transformada de Fourier Infravermelho

PL:

Fotoluminescência

TMDCs:

Dicalcogenetos de metais de transição

vdW:

Van der Waals

COFs:

Estruturas orgânicas covalentes

FET:

Transistor de efeito de campo

HRTEM:

Microscopia eletrônica de transmissão de alta resolução

VCM:

Memristor de mudança de valência

ECM:

Memórias de metalização eletroquímica

CRS:

Comutação resistiva complementar

MR:

Magnetorresistivo

RLFP:

Flutuação de potencial local aleatório


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