Filtragem de Cor Estrutural de Área Grande Capitalizando na Configuração Metal-Dielétrico-Metal Nanoporoso

Resumo

Apresentamos uma abordagem de filtragem de cor estrutural altamente eficiente para aplicação em grandes áreas, usando um filme de alumina anódica nanoporosa (NAA) sobreposto com uma camada de alumínio (Al) no topo de um substrato de Al opticamente espesso. O filme NAA, que consiste em uma matriz de nanopore auto-montada em uma rede hexagonal, é equivalente a um meio quase homogêneo de acordo com a teoria do meio eficaz. A estrutura proposta permite forte absorção na ressonância devido à ressonância Fabry-Perot suportada pela configuração metal-dielétrico-metal e o efeito plasmônico mediado pela camada superior de Al nanoporoso. As cores de reflexão podem ser prontamente ajustadas alterando a espessura NAA que é determinada pelo tempo de anodização, permitindo assim a criação flexível de imagens coloridas complicadas em uma única plataforma. Ao fabricar três amostras com diferentes espessuras de NAA em uma grande área de 2 cm × 2 cm, é confirmado que o esquema de filtragem de cores proposto exibe pureza de cor altamente aprimorada e alta eficiência de reflexão de até 73%, que é superior àquela gerada por abordagens baseadas em NAA relatadas anteriormente. A estratégia apresentada pode abrir caminho para a fabricação eficiente de dispositivos de filtragem de cores de grandes áreas para várias aplicações potenciais, incluindo dispositivos de exibição em cores, sensores de imagem, impressão em cores estruturais e células fotovoltaicas.

Histórico

As tecnologias de filtragem de cores que recorrem a estruturas de comprimento de onda têm desempenhado um papel vital em uma variedade de aplicações fascinantes, como filtros de cores transmissivos / reflexivos em dispositivos de exibição, sistemas de imagem, polarizadores cromáticos, células fotovoltaicas e impressão colorida estrutural fotorrealística [1,2,3 , 4,5,6,7,8,9,10]. A filtragem estrutural de cores, que envolve desde corantes orgânicos tradicionais / filtros químicos baseados em pigmentos, mitiga com sucesso as desvantagens dos filtros químicos, incluindo degradação significativa do desempenho sob iluminação ultravioleta de longa data e sério estresse ambiental. Além disso, a filtragem de cor estrutural exibe características salientes de propriedades flexíveis de filtragem espectral e especificações estáveis. Vários esquemas para alcançar cores estruturais, particularmente aqueles que envolvem o uso de filmes finos de múltiplas camadas [11,12,13,14,15], plasmonic habilitado com grade de sub-comprimento de onda ou nanoestruturas de ressonância de modo guiado [16,17,18, 19,20,21,22], e metassuperfícies [23], foram propostas. A fabricação de configurações baseadas em redes de sub-comprimento de onda e metassuperfícies geralmente requerem procedimentos complicados, como litografia de feixe de elétrons (e-beam) e gravação de íons reativos, que são demorados e têm alto custo e limitam muito suas aplicações potenciais em grandes circunstâncias da área. Assim, filmes finos de múltiplas camadas, particularmente o ressonador Fabry-Perot (FP) com uma cavidade dielétrica imprensada por duas camadas metálicas, são amplamente usados ​​como um método alternativo. Porém, múltiplas etapas de fabricação são necessárias para a deposição de diferentes espessuras de cavidades com o objetivo de gerar cores completas simultaneamente em uma única plataforma, o que dificulta seu uso em aplicações práticas.

Para mitigar os problemas acima mencionados, alumina anódica nanoporosa (NAA), que é um dos materiais porosos automontados de baixo custo consistindo em muitos nanoporos cilíndricos paralelos retos perpendiculares a um substrato de Al opticamente espesso, é considerado o melhor candidato [24, 25]. Várias estratégias para gerar várias cores estruturais em filmes NAA são usadas atualmente, incluindo cobrir a superfície superior e a parede lateral interna do filme NAA com carbono ou material dielétrico, como TiO ₂ [26,27,28], ou depositando camadas metálicas no topo de um filme NAA [29,30,31,32]. Uma configuração assimétrica metal-dielétrico-metal (MDM) habilitada para ressonância FP pode ser facilmente construída, simplesmente depositando uma camada metálica no topo de um NAA. Na ressonância, uma forte supressão na reflexão pode ser observada, correspondendo a uma cor de reflexão específica. A camada metálica depositada no topo de um NAA, que consiste em uma rede hexagonal de poros, pode simultaneamente possibilitar um forte efeito plasmônico, potencializando ainda mais a absorção da estrutura [32, 33]. Por meio de um simples ajuste da geometria do NAA, como espessura e diâmetro dos poros, as cores observadas podem ser efetivamente ajustadas. No entanto, as configurações de NAA revestidas de metal relatadas, que usam metais nobres como platina e ouro, levam a um alto custo do dispositivo [29, 32]. E, os espectros ópticos das configurações relatadas exibem baixa eficiência de reflexão, múltiplas ressonâncias dentro da banda espectral visível ou larguras de banda espectrais largas, resultando em pureza de cor baixa indesejada.

Neste trabalho, demonstramos um esquema de filtragem de cores estrutural altamente eficiente para aplicações em grandes áreas, explorando uma estrutura nanoporosa simples baseada em um filme de NAA sobreposto com uma camada fina de alumínio (Al). Cores vivas e distintas de reflexão podem ser prontamente ajustadas simplesmente alterando a espessura do NAA. Al é particularmente aplicado por causa de suas excelentes propriedades ópticas, incluindo alta refletividade nas regiões visíveis, baixo custo e compatibilidade com o processo de fabricação de metal-óxido-semicondutor complementar padrão [20,21,22]. O papel individual de cada parâmetro geométrico da estrutura proposta é rigorosamente inspecionado através do método do domínio do tempo de diferenças finitas (FDTD). Amostras com diferentes espessuras de NAA foram fabricadas em uma grande área através de um método não litográfico. As características ópticas das amostras preparadas foram medidas e avaliadas comparando os resultados medidos com os resultados simulados.

Métodos / Experimental

Projeto do esquema proposto de filtragem de cores para grandes áreas

Neste estudo, pretendemos desenvolver um esquema de filtragem de cores altamente eficiente para aplicação em grandes áreas, capitalizando em uma configuração ressonante MDM nanoporosa capaz de suportar ressonância FP, além do efeito plasmônico. A Figura 1a representa a configuração esquemática do dispositivo de filtragem de cor baseado em estrutura de MDM proposto, onde um filme de NAA é ensanduichado entre um substrato de Al opticamente espesso e uma camada de Al fina superior. A espessura do NAA e da camada superior de Al são denotados como t ₁ e t ₂ , respectivamente. Para a fabricação de uma estrutura nanoporosa, o filme NAA é uma estrutura porosa auto-montada que se originou de uma placa de Al por meio de um processo de anodização simples, em vez de abordagens convencionais que dependem de litografia de feixe eletrônico complicada e cara. Conforme mostrado na Fig. 1b, o filme de NAA consiste em uma rede hexagonal de poros com o diâmetro de d. A lacuna entre dois poros adjacentes é representada por Ʌ . Quando a lacuna entre os dois poros é suficientemente pequena em comparação com o comprimento de onda de interesse, as camadas nanoporosas, envolvendo o revestimento de Al superior e o filme de NAA, se comportam como meio quase homogêneo. Portanto, definimos apropriadamente Ʌ e d a 100 e 65 nm, respectivamente. A teoria do meio eficaz tem sido comumente usada para elucidar as propriedades de tais estruturas nanoporosas [34, 35].

a Geometria esquemática da estrutura proposta com base no filme NAA revestido com Al sobre um substrato de Al para filtragem de cores de grandes áreas. b Vista superior do filme NAA com uma estrutura hexagonal de nanoporos

Para a estrutura MDM assimétrica ativada por ressonância FP, a reflexão é fortemente suprimida na ressonância, correspondendo a um mergulho de reflexão, quando a interferência desconstrutiva ocorre entre a luz refletida diretamente na interface ar-Al superior e a luz ressonantemente acoplada dentro do NAA cavidade. Diferente da estrutura MDM convencional baseada em camadas contínuas [12,13,14], a estrutura nanoporosa proposta deve ajustar as cores de reflexão, não apenas alterando a espessura da cavidade dielétrica, mas também alterando o diâmetro do poro ou lacuna [28, 29]. Mais importante ainda, devido à camada de Al nanoporosa superior, a estrutura proposta é capaz de permitir um forte efeito plasmônico além da ressonância FP, o que pode reforçar de forma eficiente a absorção da estrutura proposta. A estrutura proposta é cuidadosamente desenhada e avaliada com uma ferramenta baseada no método FDTD. As características de dispersão dos materiais usados ​​para as simulações são derivadas do modelo de multi-coeficientes integrado fornecido pela ferramenta. Para simplificar, a região de simulação, que é denotada por uma caixa vermelha pontilhada na Fig. 1b, contém apenas uma estrutura de unidade, e os limites periódicos são aplicados para o x e y eixos. Um refinamento de malha não uniforme automático padrão com precisão de malha de 3 é definido para toda a região de simulação. Essa configuração garante um bom equilíbrio entre a precisão e o tempo de simulação. Uma onda plana serve como fonte de luz. Definimos a espessura do revestimento superior de Al em 15 nm por meio de um conjunto de simulações para obter um mergulho de reflexão próximo a zero, a fim de produzir cores de alta pureza. Em seguida, a sintonia espectral sobre a espessura da cavidade NAA é investigada, conforme plotado na Fig. 2a. Como a espessura do NAA t ₂ varia de 110 a 180 nm, o comprimento de onda de ressonância muda ligeiramente para o vermelho de 465 a 670 nm, cobrindo toda a banda espectral visível. Quando a espessura do NAA é ainda mais aumentada, o mergulho de ressonância eventualmente entra na banda do infravermelho próximo. Enquanto isso, um mergulho de ressonância de ordem superior com largura de banda relativamente estreita aparece da banda ultravioleta para a banda visível com a espessura de NAA variando de 250 a 320 nm. Deve-se notar que um único mergulho de ressonância na banda visível é desejado para a produção de cores de reflexão vívidas com alta pureza. Para estimar a pureza da cor da estrutura proposta, as coordenadas de cromaticidade que correspondem aos espectros de reflexão são calculadas e mapeadas no diagrama de cromaticidade padrão da Comissão Internacional de Iluminação (CIE) 1931, conforme ilustrado na Fig. 2b. Observa-se que as coordenadas de cromaticidade evoluem ao longo da seta preta à medida que a espessura do NAA aumenta. Em particular, o traço circular das coordenadas de cromaticidade com o aumento da espessura do NAA de 110 para 180 nm indica que o esquema proposto é capaz de alcançar cores vivas por meio do simples ajuste da espessura do NAA. A Figura 3 mostra os espectros de reflexão dependente da polarização da estrutura proposta com diferentes espessuras de cavidade de t ₂ =110, 160 e 320 nm. Observa-se que os mesmos espectros de reflexão são mantidos em termos de comprimento de onda de ressonância e eficiência de reflexão, pois o ângulo de polarização da luz incidente varia de 0 ° a 90 °. Portanto, considera-se que a estrutura proposta habilita a propriedade independente de polarização, que é atribuída à geometria simétrica da estrutura proposta.

a Respostas espectrais de reflexão simulada da estrutura de filtragem de cores proposta com espessura de NAA variando de 110 a 320 nm. b Coordenadas de cromaticidade correspondentes no diagrama de cromaticidade CIE 1931

Espectros de reflexão simulada da estrutura proposta com relação à polarização incidente

Fabricação de dispositivos de filtragem de cores

Com o propósito de avaliar o esquema de filtragem de cores proposto, fabricamos três amostras com diferentes espessuras de NAA por meio dos seguintes processos de fabricação. A folha de alumínio comercial de alta pureza (99,999%) foi inicialmente desengordurada em acetona e subsequentemente lavada em álcool isopropílico e água desionizada sem qualquer outro pré-tratamento antes da adonização. A folha de Al preparada foi cortada em pedaços quadrados, os quais foram colocados em um suporte próprio com área efetiva de 2 cm × 2 cm durante o processo de anodização. O recipiente de eletrólito era um copo transparente com um volume total de 4 L. Neste experimento, um processo de anodização em duas etapas foi implementado sequencialmente. Na primeira etapa, a anodização foi realizada pela imersão dos pedaços quadrados de folha de Al em ácido oxálico 0,3 M sob a voltagem de anodização constante de 40 V em temperatura ambiente por 30 min. Posteriormente, as amostras anodizadas foram imersas em uma mistura de 6,0% em peso H ₃ PO ₄ e 1,8% em peso H ₂ CrO ₄ a 60 ° C por 5 h para a remoção das camadas oxidadas. Na segunda etapa, a anodização foi realizada com as mesmas condições experimentais utilizadas na primeira etapa. Como resultado, as partes parcialmente anodizadas das peças originais de folha de Al foram transformadas nos filmes NAA com poros retos bem definidos. Uma camada de alumina opticamente espessa indesejada foi formada dentro do poro no topo da folha de Al subjacente por causa da oxidação de Al durante a segunda etapa de anodização. A fim de remover a camada de alumina indesejada dentro do poro completamente, as amostras anodizadas foram dissolvidas em 6,0% em peso de H ₃ PO ₄ a 60 ° C durante 10 min. Finalmente, três amostras com diferentes espessuras de NAA de 110, 160 e 320 nm, foram preparadas controlando com precisão o tempo de anodização. As vistas superior e transversal das amostras fabricadas de NAA são apresentadas na Fig. 4a, exibindo uma estrutura nanoporosa satisfatória com poros bem formados e alta periodicidade. Para as amostras preparadas, o diâmetro do poro e a lacuna entre dois poros vizinhos foram medidos como sendo d =65 nm e Ʌ =100 nm, respectivamente. Em seguida, uma camada de revestimento de Al foi depositada no topo do filme de NAA preparado por meio de deposição por pulverização catódica sob a pressão de base de 6,7 × 10 ⁻⁵ Pa e potência de corrente contínua de 2,0 kW por 260 s. Notavelmente, a taxa de deposição mínima de 0,5 Å / s foi selecionada para garantir a precisão da espessura da camada de Al depositada. A Figura 4b ilustra a vista superior das imagens de microscopia eletrônica de varredura (SEM) dos dispositivos de filtragem de cores fabricados com finas camadas de revestimento de Al no topo. A espessura das camadas de Al depositadas foi medida como sendo t ₁ =16 nm, que está próximo da espessura projetada.

a Vistas em corte transversal e superior das imagens SEM dos filmes NAA fabricados com diferentes espessuras de t ₂ =110, 160 e 320 nm, respectivamente. b Vista superior das imagens SEM da estrutura proposta com base no filme NAA revestido com Al

Caracterização óptica dos dispositivos de filtragem de cores preparados

O desempenho óptico de cada amostra preparada foi exaustivamente avaliado em relação à cor de reflexão e resposta espectral. A Figura 5a mostra as cores de reflexão medidas na incidência normal das amostras fabricadas com grandes dimensões de 2 cm × 2 cm. Cores subtrativas primárias vívidas de amarelo, ciano e magenta foram observadas, verificando se a abordagem de filtragem de cores proposta é capaz de renderizar a geração de cores com pureza de cores altamente aprimorada. Para uma melhor compreensão da alta pureza alcançada, uma configuração experimental customizada, incluindo uma lâmpada de halogênio servindo como fonte de luz, um divisor de feixe e um espectrômetro, foi implementado para medir os espectros de reflexão das amostras preparadas. A Figura 5b, c representa os espectros de reflexão medidos juntamente com os espectros de reflexão simulados como referências, onde uma boa correlação foi observada entre o experimento e a simulação no que diz respeito ao comprimento de onda de ressonância e formas dos espectros de reflexão. Uma pequena discrepância na largura de banda espectral e eficiência de reflexão pode ser atribuída à imperfeição da fabricação no que diz respeito ao design, incluindo a rugosidade das interfaces Al-NAA e periodicidade e tamanho dos poros inconsistentes, o que pode ser facilmente observado na Fig. 4. Verificou-se também que as amostras fabricadas com espessuras de NAA de 110, 160 e 320 nm tiveram quedas de ressonância quase zero localizadas em comprimentos de onda de 484, 614 e 539 nm, respectivamente, e praticamente alcançaram altas eficiências de reflexão de até 73%. As coordenadas de cromaticidade correspondentes aos espectros simulados e medidos foram calculadas e plotadas no diagrama de cromaticidade CIE 1931, conforme ilustrado na Fig. 5d. As cores de reflexão de alta pureza observadas mostradas na Fig. 5a são confirmadas para se beneficiar da alta eficiência de reflexão alcançada e mergulho de reflexão próximo de zero.

a Imagens ópticas coloridas capturadas com incidência normal dos dispositivos fabricados com diferentes espessuras de NAA de t ₂ =110, 160 e 320 nm. b Simulado e ( c ) espectros de reflexão medidos dos dispositivos fabricados. d Coordenadas de cromaticidade correspondentes no diagrama de cromaticidade CIE 1931 em resposta aos espectros simulados e medidos

Resultados e discussão

Investigação do efeito plasmônico

Para examinar o efeito plasmônico habilitado pela camada nanoporosa de Al, investigamos exaustivamente a estrutura proposta, substituindo a cavidade NAA por uma cavidade homogênea equivalente exibindo um índice de refração eficaz. Com base na teoria do meio efetivo, o índice de refração efetivo da cavidade NAA com uma lacuna de poro de 100 nm e um diâmetro de poro de 65 nm é derivado como n _eff =~ 1,48, de acordo com a equação expressa da seguinte forma:
$$ \ left ({n ^ 2} _ {\ mathrm {eff}} - {n ^ 2} _ {{\ mathrm {Al}} _ 2 {\ mathrm {O}} _ 3} \ right) / \ left ( {n ^ 2} _ {\ mathrm {eff}} + 2 {n ^ 2} _ {{\ mathrm {Al}} _ 2 {\ mathrm {O}} _ 3} \ right) ={f} _ {\ mathrm {air}} \ left (1- {n ^ 2} _ {{\ mathrm {Al}} _ 2 {\ mathrm {O}} _ 3} \ right) / \ left (1 + 2 {n ^ 2} _ { {\ mathrm {Al}} _ 2 {\ mathrm {O}} _ 3} \ right). $$ (1)
Aqui, o índice de refração da alumina (Al ₂ O ₃ ) é n _Al2O3 =1,77 e a fração de preenchimento de ar dentro da cavidade NAA é \ ({f} _ {\ mathrm {air}} =\ pi {\ left (d / \ Lambda \ right)} ^ 2/2 \ sqrt {3} \). A Figura 6a mostra uma comparação dos espectros de reflexão entre as estruturas baseadas na cavidade NAA e a cavidade homogênea com n _eff de 1,48 para diferentes espessuras de cavidade de t ₂ =110, 160 e 320 nm. Pode-se observar uma boa correlação entre os dois casos, indicando que a estrutura proposta pode ser equivalente com segurança à estrutura baseada em uma cavidade homogênea com índice efetivo de 1,48. Para a estrutura equivalente com base na cavidade homogênea, a influência dos poros dentro da camada superior de Al no espectro de reflexão é representada na Fig. 6b. Em comparação com o caso que não inclui nenhum poro na camada superior de Al, a estrutura proposta consiste na camada superior de Al com um diâmetro de poro de d =65 nm pode aumentar fortemente a absorção na ressonância. O claro desvio para o vermelho observado no comprimento de onda de ressonância pode ser atribuído ao resultado do efeito plasmônico e o desvio de fase alterado na reflexão na camada superior de Al. Para verificar se os poros introduzidos na camada superior de Al levam ao aumento de absorção observado através do efeito plasmônico, monitoramos o campo elétrico (| E |) perfis em ressonância no x - z plano para os dois casos com e sem a presença de poros na camada superior de Al, conforme ilustrado na Fig. 6c. Na estrutura com camada de Al não porosa, apesar do fato de que um forte aumento de campo pode ser observado dentro da cavidade no comprimento de onda de ressonância de 559 nm por causa da ressonância FP suportada pelas estruturas de MDM, parte da luz ainda é refletida. Já para a estrutura com camada superior de Al porosa, observa-se que o aumento do campo elétrico não está apenas dentro da cavidade, mas também dentro do poro na camada superior de Al através do efeito plasmônico no comprimento de onda de ressonância de 622 nm. Como resultado, a luz é quase completamente confinada dentro da estrutura proposta, correspondendo ao mergulho de reflexão próximo de zero mostrado na Fig. 6b.

a Espectros de reflexão simulada da estrutura proposta com base na cavidade NAA e a estrutura equivalente baseada em uma cavidade homogênea com índice de refração efetivo ( n _eff ) para diferentes espessuras de cavidade de t ₂ =110, 160 e 320 nm. b Espectros de reflexão simulada das estruturas, incluindo a camada superior de Al sem poros e com poros ( d =65 nm)

Influência da Oxidação de Al

Notavelmente, uma camada de alumina com 0,5-4 nm de espessura se formou espontaneamente na superfície do Al por causa da oxidação do Al ao ar à temperatura ambiente [36, 37]. A camada de alumina servindo como uma camada passiva estável pode proteger o Al de oxidação posterior. Levando esta situação em consideração, os espectros de reflexão e as coordenadas de cromaticidade correspondentes da estrutura com diferentes espessuras de NAA foram inspecionados, respectivamente, como mostrado na Fig. 7. Como a espessura da camada de alumina na superfície das camadas de Al, incluindo o nanoporoso superior Camada de Al e o substrato de Al inferior, aumentados de t ₀ =0 a 4 nm, e os espectros de reflexão mantiveram uma boa consistência em termos de comprimento de onda de ressonância e eficiência de reflexão. Além disso, as coordenadas de cromaticidade indicaram uma saída de cor estável após a oxidação do Al. Como resultado, a oxidação do Al ao ar dificilmente afetou o desempenho óptico da estrutura proposta. Para comparação, a estrutura sem uma camada de revestimento de Al também foi avaliada. Conforme representado na Fig. 8, a espessura do filme de NAA era de 160 nm. A cor cinza, que é a cor original da folha de Al, foi observada, confirmando ainda que o esquema de filtragem de cores proposto permitiu pureza de cor altamente aprimorada. Conforme indicado pelos espectros de reflexão simulados e medidos da estrutura sem uma camada de Al no topo, nenhum fenômeno de ressonância óbvio foi observado na banda espectral visível, resultando na cor de reflexão de baixa pureza observada. Notavelmente, a aparência do espectro de reflexão do filme de NAA sem camada de revestimento de Al era semelhante, independentemente da espessura do filme de NAA, enquanto que o do filme de NAA revestido de Al dependia fortemente da espessura.

Espectros de reflexão simulada da estrutura proposta, considerando a camada de alumina formada no topo do Al por causa da oxidação do ar das diferentes espessuras de cavidade NAA de 110, 160 e 320 nm

Imagem de cor ótica capturada dos espectros de reflexão simulados e medidos da estrutura de referência sem camada de revestimento de Al no topo do filme NAA

Conclusões

Em resumo, propusemos e demonstramos um método atraente para obter geração de cor em grande área com alta pureza de cor por meio do uso de uma fina camada de revestimento de Al em conjunto com o filme de NAA sobre um substrato de Al opticamente espesso. De acordo com a teoria do meio eficaz, as camadas nanoporosas pertencentes à estrutura proposta, incluindo a camada de revestimento de Al e o filme de NAA, se comportam como o meio quase homogêneo com certos índices de refração eficazes. Como resultado, a estrutura proposta opera como uma estrutura ressonante MDM que permite a ressonância FP, onde o comprimento de onda de ressonância correspondente à cor de reflexão é prontamente sintonizado simplesmente mudando a espessura do NAA. Enquanto isso, aproveitando a camada superior nanoporosa de Al, descobrimos que a estrutura proposta suportava o efeito plasmônico, que pode aumentar fortemente a absorção, levando ao mergulho de reflexão próximo de zero observado. Os desempenhos ópticos da estrutura proposta, dependendo de sua geometria, foram teoricamente examinados usando a ferramenta baseada no método FDTD. Com base em parâmetros otimizados, três amostras com diferentes espessuras de NAA foram fabricadas em uma área de 2 cm x 2 cm. Através da análise dos resultados experimentais, as amostras preparadas são verificadas para exibir cores de reflexão vívidas com alta eficiência de reflexão de até aproximadamente 73%. A abordagem proposta pode não apenas levar a uma melhor compreensão do mecanismo de ajuste de cor da configuração baseada em filme NAA, mas também representar um passo importante para a realização de dispositivos de filtragem de cor de grande área com boa relação custo-benefício em um grande número de aplicações, como dispositivos de exibição / imagem, células fotovoltaicas e tecnologias de biossensores.

Abreviações

| E |:

Campo elétrico

Al:

Alumínio

Al ₂ O ₃ :

Alumina

CIE:

Comissão Internacional de Iluminação

e-beam:

Feixe de elétrons

FDTD:

Domínio do tempo de diferença finita

FP:

Fabry-Perot

MDM:

Metal-dielétrico-metal

NAA:

Alumina anódica nanoporosa

SEM:

Microscopia eletrônica de varredura

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