Um guia de ondas flexível e extensível baseado em nanograting para detecção tátil

Resumo

Com base nas características relacionadas do guia de onda óptico e materiais ópticos flexíveis, uma estrutura de guia de onda óptica flexível e esticável orientada para a percepção tátil é proposta. O princípio de detecção do guia de onda óptico é baseado na deformação mecânica causada pela perda de luz de saída. Ele supera as deficiências dos dispositivos de guia de ondas ópticos tradicionais, que são incapazes de se conformar a superfícies irregulares. O guia de onda óptico flexível e extensível é fabricado com o método de moldagem nanoreplica e tem sido aplicado à medição de pressão e deformação no campo de detecção tátil. O guia de onda óptico flexível e extensível tinha uma faixa de detecção de deformação de 0 a 12,5%, e a faixa de detecção de força externa é de 0 a 23 × 10 ^–3 N.

Introdução

O guia de ondas óptico é uma estrutura que orienta a transmissão da onda de luz [1,2,3,4]. Os guias de onda óticos rígidos convencionais não podem atender aos requisitos da eletrônica flexível e da robótica suave [5,6,7]. Dispositivos flexíveis e extensíveis serão uma parte importante para o sistema robótico de detecção tátil, que pode realizar a percepção da interação homem-máquina, e tem um alto grau de flexibilidade, extensibilidade, adaptabilidade, sensibilidade, biocompatibilidade e imune a interferência eletromagnética [8, 9,10,11,12]. Wang et al. fabricou sensores de pressão flexíveis com bioinspiração baseados em filme biocompósito Ti3C2 / MC com sensibilidade à pressão de 24,63 kPa ⁻¹ , e o filme de seda Fibroin-MXene também foi utilizado como sensor de pressão com biocompatibilidade e alto desempenho [13, 14]. Ran et al. fabricou um sistema de amplificação de detecção de infravermelho (IR) biomimético flexível para imagens de alto contraste de luz IR, e o pico de fotossensibilidade pode chegar a 7,6 × 10 ⁴ sob o comprimento de onda de 1342 nm [15]. O guia de onda óptico flexível e extensível com base na estrutura nanograting pode ser fabricado em dispositivos de detecção tátil com flexibilidade e extensibilidade, e tem uma ampla aplicação na área de eletrônica vestível e robótica. Li et al. fabricou um dispositivo de guia de onda flexível baseado em vidro de calcogeneto dobrável, e uma teoria de multi-eixo neural foi usada para otimizar a distribuição de deformação [16]. Além disso, o guia de ondas de vidro foi projetado em forma de serpentina, com uma extensibilidade de 42% de tensão de tração. Além de novos materiais ópticos flexíveis, muitas tecnologias de fabricação de última geração têm sido usadas na fabricação de guias de ondas flexíveis e extensíveis [17, 18]. Samusjew et al. fabricou um guia de onda óptico flexível e extensível de fotopolimerização por impressão a jato de tinta, e o guia de onda tinha uma extensibilidade de 120% [19]. Para alcançar flexibilidade e extensibilidade de dispositivos ópticos de guia de ondas baseados em estruturas nanograting, novos materiais macios com transparência óptica são necessários como alicerces. Hoje em dia, novos materiais usados para fazer dispositivos sensores de fótons flexíveis e extensíveis têm sido desenvolvidos continuamente [11, 20]. Eles têm várias características comuns, incluindo transparência, flexibilidade e extensibilidade. Esses novos materiais óticos moles podem ser divididos nas seguintes categorias:elastômeros, cristais coloidais, hidrogéis e opalas sintéticas [21,22,23]. Com o desenvolvimento gradual de dispositivos de guia de onda ópticos flexíveis e extensíveis baseados em materiais ópticos flexíveis e tecnologias de micro / nanofabricação, a aplicação de guias de ondas ópticas flexíveis e extensíveis em percepção tátil, eletrônica vestível e diagnóstico de saúde pessoal foi gradualmente expandida. Andreas e col. usou polímero de poliestireno como camada de cobertura e polímero fluorado como camada de transmissão para preparar dispositivos de detecção de guia de onda óptico de ultra-alta elasticidade e elastoplástico, cuja resistência à tração pode exceder 300% [24]. Alexander et al. usou a tecnologia holográfica e o método de cura do modelo UV para preparar a luz flexível da grade de difração em material PDMS misturado com moléculas fotossensíveis à benzofenona [25]. Embora muitos pesquisadores tenham implementado o guia de onda óptico flexível ou extensível, há poucos avanços na pesquisa do guia de onda óptico flexível e extensível, especialmente na área de detecção tátil robótica.

Neste artigo, um novo guia de onda óptico flexível e extensível foi projetado e fabricado com o processo de moldagem nanoreplica. O guia de onda óptico flexível e extensível é um importante dispositivo de detecção tátil e pode ser usado para realizar a detecção de pressão e deformação para aplicações vestíveis e de saúde. O guia de onda flexível e extensível foi fabricado em wafer mestre de silício, com PDMS como substrato. Um wafer mestre nanograting foi usado para criar estruturas de grade em guias de ondas ópticas como acopladores de entrada / saída. Todos os parâmetros relacionados foram analisados e calculados durante o processo de fabricação. O guia de onda óptico flexível e extensível fabricado foi aplicado à medição de pressão e deformação no campo de detecção tátil.

Métodos

Princípio do guia de ondas flexível e extensível

Para um sensor de guia de onda óptico flexível e extensível, o índice de refração da camada guiada é n _{guia de onda} e o coeficiente do índice de refração do ambiente ambiente do guia de onda é n _externo , que satisfaz a seguinte relação:
$$ n_ {guia de ondas}> n_ {externo} $$ (1)
Neste artigo, o PDMS é selecionado como a camada de guia de onda ótica e seu coeficiente de índice de refração é 1,41, que é maior do que o coeficiente de índice de refração do ar 1,0, portanto, pode ser usado como um guia de onda ótico simples. A realização da detecção tátil requer que o guia de ondas óptico flexível e extensível com base na detecção tátil possa detectar diferentes parâmetros físicos (pressão, deformação, etc.) do ambiente ambiente. Quando o dispositivo de detecção de guia de onda óptico flexível e extensível é afetado pelo ambiente externo, a intensidade da potência da luz de saída está intrinsecamente relacionada ao distúrbio mecânico causado pelo estresse ou tensão. De acordo com a variação na intensidade da luz de saída, a deformação do guia de onda óptico flexível e extensível causada pela força ambiental externa pode ser estabelecida. Ao calcular a mudança da intensidade da luz de saída, as variações físicas externas podem ser medidas quantitativamente.

O diagrama esquemático do dispositivo óptico de detecção de guia de ondas flexível e extensível, conforme mostrado na Fig. 1a. A parte do guia de onda óptico flexível e extensível inclui:1, Filme de guia de onda óptico flexível e extensível; 2, profundidade de nanograting periódica; 3, comprimento do guia de ondas óptico; 4 Período de nanograting; 5, largura nanograting; 6, Entrada acoplada de grade, 7, Saída acoplada de grade. O acoplamento de grade do guia de onda óptico flexível e extensível é composto da área de acoplamento de grade 6 e área de acoplamento de grade 7 para entrada e saída de intensidade de luz. A detecção do guia de onda óptico é realizada pelo guia de onda óptico extensível flexível com grandezas físicas externas (pressão, tensão, etc.) para obter a relação correspondente entre a intensidade da luz de saída e as mudanças nas grandezas físicas externas, como mostrado na Fig. 1b .

a Princípio de detecção de pressão e deformação, b Esquema do guia de onda óptico flexível e extensível

Quando um feixe de onda de luz é acoplado ao guia de onda óptico do acoplador de grade em um determinado ângulo, ele transmite uma distância de L no guia de onda óptico e, então, é acoplado através do acoplador de grade de saída. Presume-se que a intensidade da luz de saída é I ₀ . Quando a estrutura do guia de onda óptico flexível e extensível é deformada pela pressão externa F ou tensão S aplicada, sua variação de intensidade de luz correspondente da saída do guia de onda óptico é ΔI ₀ , então a relação entre a intensidade da luz de saída e a pressão é:
$$ \ Delta I_ {0} =f \ left (F \ right) $$ (2)
A relação entre a variação da intensidade da luz e a deformação aplicada é:
$$ \ Delta I_ {0} =f \ left (S \ right) $$ (3)

Resultado e análise da simulação

O material flexível e extensível da estrutura do guia de onda óptico é um material macio com flexibilidade e extensibilidade. Quando o guia de onda óptico extensível flexível executa detecção tátil, o dispositivo pode ser danificado ou não funcionar corretamente devido ao estresse definido durante o processo de deformação. Portanto, ao fabricar dispositivos ópticos de guia de ondas flexíveis e extensíveis, é necessário realizar simulações estáticas em estruturas de cristal fotônico preparadas com diferentes materiais e analisar a distribuição de tensões e deformações internas na estrutura quando ela é submetida a forças externas para produzir deformação por tração . O software ABAQUS foi usado para simulação de elementos finitos. Os parâmetros do modelo foram estabelecidos da seguinte forma:período da grade 850 nm, ciclo de trabalho 0,5, espessura do material 2 mm, altura da grade 200 mícrons, módulo de Young é 1 MPa, coeficiente de Poisson é 0,48 e a densidade do PDMS é definida como 0,98 g / cm ³ . A carga é definida como o deslocamento de tração aplicado em ambos os lados do guia óptico de onda, sendo as demais direções fixas, o que significa que o dispositivo é alongado em 10% na direção horizontal. O diagrama de distribuição modal tensão-deformação do guia de onda óptico PDMS é mostrado na Fig. 2. Pode ser visto na Fig. 2a que as mudanças morfológicas da deformação são principalmente distribuídas na parte inferior da estrutura da camada de grade, e a deformação é distribuídas simetricamente e mais uniformemente em ambos os lados. A concentração de tensões está principalmente na parte onde a grade e as estruturas de bloco estão conectadas, e as tensões máximas são menores que 0,13 MPa, conforme mostrado na Fig. 2b. A análise de simulação mecânica mostra que o guia de ondas da estrutura de grade com base em PDMS tem propriedades de tração muito boas e o experimento de simulação suporta a estabilidade da função de detecção de deformação da estrutura de guia de ondas óptico flexível e extensível.

Simulação de elementos finitos do guia de ondas flexível e extensível: a Tensão elástica; b Estresse

O princípio de detecção do sensor tátil de guia de onda óptico flexível é que quando a luz é acoplada ao guia de onda óptico e transmitida, a perda de transmissão de luz ocorre devido à tensão externa e deformação, e a finalidade da detecção de tensão e deformação é alcançada pelo cálculo da perda. Portanto, para o dispositivo de guia de onda óptico projetado com base na estrutura nanograting, a simulação de campo elétrico é necessária para verificar o estado de transmissão de luz no guia de onda óptico. No experimento de simulação eletromagnética, o software de simulação eletromagnética FDTD é usado para análise e projeto. Uma vez que o guia de onda óptico projetado é uma estrutura simétrica, o acoplador de grade em cada extremidade é selecionado como o objeto de pesquisa. O ciclo de trabalho da grade é 0,5, o período da grade é e a altura da grade é. Sua estrutura básica é mostrada na Fig. 3a. Quando um feixe de luz vermelha gaussiana é acoplado ao guia de onda óptico em um ângulo incidente de 13,54 graus, a maior parte do feixe de luz branca pode ser acoplado ao guia de onda óptico e se propagar ao longo da direção horizontal do guia de onda óptico. O experimento verificou que quando o feixe entra no guia de onda óptico em um determinado ângulo de incidência, o feixe pode se propagar parcialmente no guia de onda óptico e ser acoplado para fora, como mostrado na Fig. 3b.

a Estrutura de simulação do processo de acoplamento de luz, b distribuição eletromagnética da luz de acoplamento

Fabricação

O modo de entrada e saída do guia de onda óptico flexível e extensível é o acoplamento de grade, que é fabricado por moldagem de nanoreplica com modelo de grade mestre de Si. Os materiais ópticos flexíveis que podem ser usados para a fabricação de guias de ondas ópticas flexíveis e extensíveis incluem PDMS, SU8, PMMA e vidro de calcogeneto dobrável. O processo de fabricação de um guia de ondas flexível e extensível é o seguinte:(1) Modelo de wafer mestre. O modelo de nanograting tem um período de grade de 850 nm, fator de preenchimento 0,5 (LightSmyth Technologies, Inc.). (2) Modificação da superfície. O modelo de wafer de silício preparado foi colocado em silano hidrofóbico e embebido por 15 min. Em seguida, foi limpo com IPA e seco com gás nitrogênio, a fim de alterar as propriedades da superfície do molde de grade de Si (de hidrofílico para hidrofóbico). (3) Camada sacrificial. A solução de álcool polivinílico (PVA) (concentração de 10%) foi revestida por fiação em wafer 4 ′ 'Si e, em seguida, seca a 75 ⁰ C por 30 min. (4) Modelo de guia de ondas de grade. Duas grades de Si de 855 nm foram colocadas no topo da camada sacrificial de PVA. Certifique-se de que a orientação dos dois modelos de grade é a mesma e as grades voltadas para cima, e a distância relativa entre os modelos. (5) Revestimento PDMS não curado. Mistura de PDMS não curado e agente de cura na proporção de 10:1. Em seguida, o PDMS não curado é agitado para misturar uniformemente. Em seguida, a mistura é colocada em uma caixa a vácuo e desgaseificada por 10 min. Finalmente, o PDMS não curado é revestido por rotação no modelo de guia de onda da grade. (6) Guia de onda baseado em PDMS de decapagem. Colocação da guia de onda óptica que solidificou no PVA em água e banho por 10 h para dissolução do PVA. Retirando o guia de ondas óptico flexível e extensível e removendo o guia de ondas dos modelos de grade de silício, como mostrado na Fig. 4. O tamanho da estrutura de guia de ondas óptico flexível e extensível projetada neste artigo é ajustável. Em aplicações subsequentes, os pesquisadores podem ajustar o tamanho estrutural do guia de onda óptico com base em seus requisitos. O guia de onda óptico flexível e extensível pode ser ajustado principalmente a partir dos seguintes dois aspectos:(1) reduzir o tamanho do modelo de Si; (2) reduzir a distância da camada de transmissão de grade. Através dos dois métodos acima, o tamanho do guia de ondas óptico flexível e extensível pode ser adaptado e fabricado de acordo com as necessidades de embalagem.

Processo de fabricação de moldagem nanoreplica do sensor óptico de guia de onda flexível e extensível

A estrutura nanograting é feita por cópia e moldagem em grande escala. O modelo de grade de silício selecionado tem um período de 850 nm, um ciclo de trabalho de 0,5 e uma altura de grade de 200 nm, como mostrado na Fig. 5a. A qualidade da morfologia nanograting determina a eficiência de acoplamento da luz de entrada e saída. A imagem AFM de nanogratings com base na moldagem de réplica é mostrada na Fig. 5b. Pode-se ver na figura que a estrutura nanograting pode ser transferida do modelo de grade de silício para o substrato PDMS com uma boa consistência. Pode-se concluir que o método de moldagem nanoreplica selecionado pode atender aos requisitos de fabricação de guias de ondas ópticas flexíveis e extensíveis.

Imagens AFM de nanogratings: a Modelo de nanograting Si, b grades de moldagem nanoreplica em PDMS

Resultados e discussão

Plataforma de detecção

A fim de medir a tensão e a deformação para detecção tátil com guia de ondas flexível e extensível, uma plataforma de detecção tátil flexível foi construída. Toda a plataforma experimental de guia de onda óptico flexível e extensível é mostrada na Fig. 6a, incluindo principalmente o seguinte processo:(1) Fonte de luz incidente. Um ponto de laser com comprimento de onda localizado em 632,8 nm é selecionado como luz incidente. (2) Posição da fonte de luz e dispositivo de ajuste de postura. É um dispositivo mecânico utilizado para fixar a posição da fonte de luz incidente e ajustar seu ângulo de incidência em tempo real. (3) Dispositivo de medição de tração. O dispositivo de medição de tração composto de Vernier Caliper e partes fixas não padronizadas, que pode ser usado para medir com precisão o comprimento inicial do guia de onda óptico flexível e extensível e a variação do comprimento de alongamento correspondente no experimento. (4) Fotodetector. O fotodetector PM100D (Thorlabs, Inc.) tem uma faixa de detecção de intensidade de luz de 500nW a 500mW. Nesta plataforma experimental, o fotodetector é usado para detectar a variação da intensidade da luz de saída no guia de onda óptico baseado em PDMS flexível e extensível e a pressão e a tensão relacionadas podem ser calculadas com base na quantidade de mudança da intensidade da luz de saída. Esta plataforma experimental de detecção tátil é de baixo custo, compatível e pode ser usada para detectar pressão e tensão para detecção tátil. A precisão da deformação pode chegar a 0,1%, com a precisão do Vernier Caliper é de 0,02 mm. Ao mesmo tempo, o fotodetector é usado para detectar a variação da intensidade da luz de saída e a resolução da sonda do fotodiodo é de 10 PW. O guia de onda óptico flexível e extensível fabricado por moldagem em nano-réplica é mostrado na Fig. 6. A área quadrada colorida é a parte de entrada e saída do guia de onda óptico flexível e extensível, e a área transparente na área do meio é a área de transmissão de luz. O efeito colorido é gerado pela difração de luz na superfície da grade. O guia de ondas óptico alongável flexível é mostrado na Fig. 6b, a área colorida é a porta de entrada e saída do guia de onda óptico alongável flexível e a área transparente do meio é a área de transmissão do guia de onda óptico. A imagem colorida da porta de entrada e saída do acoplamento da grade é causada pela difração de luz na superfície da grade.

a A plataforma de detecção tátil, b Guia de onda óptico flexível e extensível baseado em nanograting

Experimentos de detecção tátil

Na detecção tátil, a pressão e o esforço são duas grandezas físicas que costumam estar envolvidas em sensores táteis robóticos quando interagem com o ambiente externo. A percepção precisa e em tempo real da pressão e da deformação pode permitir que os robôs capturem com precisão o grau de deformação mecânica na interação com objetos externos, de modo a facilitar a operação de feedback otimizada subsequente.

O método de teste para o guia de ondas óptico flexível e extensível é o seguinte:(1) Um feixe de luz estável é usado para incidir na camada de transmissão do guia de ondas do guia de ondas óptico flexível e extensível através da grade de acoplamento em um ângulo fixo. Na outra extremidade do dispositivo de guia de onda óptico, um fotodetector é usado para reunir a luz de saída do acoplador de grade de saída. (2) Quando uma força externa é aplicada ao guia de onda óptico flexível e extensível, a estrutura do guia de onda óptico muda, o que leva à atenuação da intensidade da luz de saída. Ao analisar a atenuação da intensidade da luz, a força externa pode ser medida com precisão. (3) Quando uma deformação externa é aplicada ao guia de onda óptico flexível e extensível, a deformação também pode ser medida com precisão de acordo com a variação na intensidade da luz de saída. Foi realizado o teste de pressão para guia de onda óptico flexível e extensível. Neste experimento, o guia de onda óptico flexível e extensível é fixado por duas cabeças deslizantes de calibradores Vernier, e fontes de laser de 632,8 nm são ajustadas para acoplar na porta da grade de entrada em um ângulo ideal. A posição do ângulo ideal está relacionada à potência máxima recebida pelo medidor de potência na extremidade de saída da grade. Na região intermediária do guia de onda óptico flexível e extensível, um medidor de pressão é usado para aplicar pressão gradualmente sobre ele e os dados correspondentes do valor de pressão e da intensidade da luz são registrados.

Os resultados experimentais são mostrados na Fig. 7a. De acordo com a figura, a intensidade da luz de saída do guia de onda óptico diminui à medida que a pressão aplicada aumenta e há uma correlação linear entre a mudança de pressão e a intensidade da luz de acoplamento de saída. A faixa de detecção de pressão do guia de onda óptico flexível e extensível é de 0 a 25 × 10 ^–3 N.

Os experimentos de detecção de guia de onda óptico flexível e extensível: a gráfico de resposta de perda de intensidade de pressão vs. luz, b gráfico de resposta de tensão vs. perda de intensidade de luz

O experimento de detecção de deformação de guia de onda óptico flexível e extensível é realizado por mecanismo de alongamento com escala. Em primeiro lugar, o guia de ondas flexível e extensível é pré-esticado para evitar flexão devido à gravidade, de modo que fique no estado horizontal e seu comprimento inicial L ₀ é registrado pelo compasso de calibre vernier. Em seguida, o guia de onda óptico flexível e esticável é esticado pelo mecanismo de fixação em ambas as extremidades do calibrador vernier e o comprimento após o alongamento é registrado como L, então a tensão correspondente S pode ser calculada como:
$$ {\ text {S}} =\ frac {{L - L_ {0}}} {{L_ {0}}} $$ (4)
Os resultados experimentais de detecção de deformação com base em guia de onda óptico flexível e extensível são mostrados na figura. De acordo com a figura, com o aumento da deformação aplicada, a intensidade óptica de saída do guia de onda óptico flexível e extensível diminuiu gradativamente. Além disso, a potência óptica diminui com o aumento da deformação aplicada, e há uma correlação linear entre eles. Enquanto isso, a faixa de detecção de deformação do guia de onda óptico flexível e extensível é de 0 a 12,5%, com uma precisão de deformação de 0,1%, conforme mostrado na Fig. 7b.

O sistema de detecção pode ser dividido em duas partes:o guia de ondas óptico flexível e extensível e o detector de luz (que é o medidor de energia digital PM100D). Como o atraso da luz transmitida no sensor óptico baseado em PDMS é muito baixo e pode ser ignorado, a resposta e a velocidade de recuperação dependem principalmente do detector de luz. E a taxa de resposta do medidor de energia em nosso sistema de detecção é de 25 Hz. Portanto, o tempo de resposta do sensor de guia de onda óptico flexível e extensível é de 40 ms. A estabilidade do ciclo do sensor óptico flexível e extensível é investigada carregando e descarregando a deformação e pressão aplicadas. No caso de uma determinada carga aplicada, contamos o número de alongamentos por meio de experimentos repetidos. E, o resultado mostra que ele pode ser esticado por mais de 3.000 vezes com estabilidade. Além disso, se o material PDMS é misturado com PAAm (poliacrilamida), o material sobrevive mais de 30.000 ciclos de carga [26].

Hoje em dia, existem alguns desafios para a fabricação de dispositivos ópticos flexíveis e extensíveis. A principal razão é que os materiais óticos transparentes e flexíveis que podem ser usados para esticar são realmente limitados. Outra razão é que novas tecnologias de fabricação, que podem ser usadas para realizar a rápida prototipagem e fabricação de micro e nanoestruturas baseadas em materiais ópticos flexíveis, precisam ser desenvolvidas. O guia de ondas óptico flexível e extensível é um projeto original, a perda do guia de ondas será aumentada com PDMS como a camada central do guia de ondas. Recentemente, alguns materiais ópticos flexíveis foram propostos [21, 27,28,29,30]. Wan et al. fabricou um papel fotônico flexível com nanocristais de celulose e látex de poliuretano à base de água [31]. A estrutura de guia de onda óptica pode ser melhorada com esses materiais ópticos flexíveis relacionados no futuro.

Conclusão

Em resumo, guias de onda flexíveis e extensíveis são adequados para aplicações no campo de detecção tátil, saúde e eletrônica flexível. O guia de onda óptico flexível e extensível é fabricado nos materiais ópticos flexíveis com gabarito de grade de silício, e a estrutura de nanograting pode ser transferida para o material óptico flexível por moldagem de nanoreplica. O guia de ondas óptico flexível e extensível fabricado tem as vantagens de prototipagem rápida, baixo custo e fácil de fabricar. A tecnologia de fabricação do guia de onda óptico flexível e extensível foi estudada, e a tecnologia de fabricação ideal foi desenvolvida pela combinação do processo de preparação da camada sacrificial, preparação do molde de grade de silicone, tratamento hidrofóbico e tecnologia de preparação de material flexível. O guia de onda óptico flexível e extensível tinha uma faixa de detecção de deformação de 0 a 12,5%, e a faixa de detecção de força externa é de 0 a 23 × 10 ^–3 N. Dispositivos de detecção baseados em guia de onda óptico flexível e esticável têm as características de flexibilidade, extensibilidade e fácil de conformar a superfície curva, quando comparados com guias de onda ópticos rígidos convencionais. O material óptico flexível usado neste dispositivo é o PDMS, que pode ser usado para melhorar as propriedades de tração do guia de onda óptico flexível e extensível em mais de 50%. O dispositivo pode dar jogo completo à extensibilidade e flexibilidade do guia de onda ótico extensível flexível e medir com precisão a mudança na intensidade da potência ótica de saída do guia de onda ótica causada por mudanças nas quantidades físicas externas (pressão, tensão, etc.).

Disponibilidade de dados e materiais

Todos os dados estão totalmente disponíveis sem restrição.

Abreviações

IPA:: Álcool isopropílico
Água DI:: Água desionizada
FDTD:: Domínio de tempo de diferença finita
PDMS:: Polidimetilsiloxano

Investigações estruturais de ilhas com bicamadas de boro-carbono em escala atômica em cristal único de diamante altamente dopado com boro:origem da tensão de tração em etapas Estudo de termometria em Sb2Te3 bidimensional da espectroscopia Raman dependente da temperatura

Nanomateriais

Materiais Poliméricos

biológico

Corante

Especiarias