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Otimização de Filme Fino Altamente Refletivo para Micro-LEDs de Ângulo Total

Resumo


Monitores compostos de micro-diodos emissores de luz (micro-LEDs) são considerados promissores telas autoluminosas de próxima geração e têm vantagens como alto contraste, alto brilho e alta pureza de cor. A luminescência de tal exibição é semelhante à de uma fonte de luz lambertiana. No entanto, devido à redução na área da fonte de luz, as lentes ópticas secundárias tradicionais não são adequadas para ajustar os tipos de campo de luz dos micro-LEDs e causam problemas que limitam as áreas de aplicação. Este estudo apresenta os projetos ópticos primários de filmes dielétricos e de metal para formar revestimentos de filme fino altamente reflexivos com baixa absorção nas superfícies emissoras de luz de micro-LEDs para otimizar a distribuição de luz e alcançar a utilização de ângulo total. Com base em resultados experimentais com o protótipo, que mantiveram baixas taxas de variação de tensão, características de baixas perdas ópticas e obtiveram a largura total na metade do máximo (FWHM), a distribuição da luz é aumentada para 165 ° e enquanto a intensidade do centro é reduzida para 63 % do valor original. Conseqüentemente, micro-LEDs de ângulo total com um revestimento de filme fino altamente reflexivo são realizados neste trabalho. Micro-LEDs de ângulo total oferecem vantagens quando aplicados a displays de publicidade comercial ou módulos de fonte de luz plana que requerem ângulos de visão amplos.

Introdução


Os monitores tornaram-se uma parte indispensável da vida humana, incluindo smartphones, monitores de computador, televisão (TV) e telas de publicidade comercial, que são alguns exemplos das tecnologias de exibição mais utilizadas. As tecnologias de exibição convencionais atuais incluem telas de cristal líquido (LCDs), diodos emissores de luz orgânicos (OLEDs) e diodos emissores de luz de tamanho reduzido (micro-LEDs) [1,2,3]. LCDs têm vantagens como longa vida, baixo preço e tecnologia madura [4,5,6]; no entanto, as eficiências gerais de saída de luz de LCDs retroiluminados com iluminação direta de grande porte ainda são baixas e sua estrutura é complexa, o que torna difícil reduzir a espessura geral [7,8,9].

Os OLEDs têm as vantagens de autoluminescência quando aplicados a monitores, tamanho pequeno, alta flexibilidade, alto contraste e ampla gama de cores [10,11,12]; no entanto, para resolver o problema de baixa pureza de cor causada pela mistura dos subpixels vermelho, verde e azul ao emitir luz, é necessário usar máscaras de metal complexas e finas, que também limitam a resolução e o brilho das telas OLED como reduzem sua expectativa de vida total devido às características dos materiais orgânicos internos [13,14,15].

Micro-LEDs têm as vantagens de alto brilho, longa vida útil e alta eficiência, além das vantagens de LCDs e OLEDs [16,17,18]. Os monitores de micro-LEDs são autoluminosos e usam chips de micro-LEDs extremamente pequenos como fontes de luz pontual, oferecendo, assim, vantagens de alta eficiência luminosa, longa vida, alta pureza de cor, alto contraste e alta estabilidade química [19,20,21]; no entanto, tais monitores ainda apresentam desafios, como o encolhimento dos tamanhos dos micro-LEDs e a precisão relativamente alta do substrato do equipamento, causando problemas com a tecnologia de transferência de um grande número de micro-LEDs [22,23,24].

Além das dificuldades com o processo de fabricação, ao utilizar micro-LEDs como fontes de luz, os padrões de campo de luz exibidos possuem características lambertianas, o que causa problemas como ângulos de visão limitados quando aplicados em displays de propaganda comercial [25]. Assim, aumentar os ângulos de emissão de luz dos micro-LEDs não só aumenta os ângulos de visão dos monitores, mas também reduz seu número e espessura quando usados ​​como backlights de LCDs. Até o momento, ainda há uma falta de pesquisas sobre a otimização dos ângulos de emissão de luz dos micro-LEDs, portanto, é esperado que o aprimoramento desta área de estudo seja benéfico [26,27,28]. Nos últimos anos, os estudiosos propuseram projetos ópticos para otimizar os ângulos emissores de luz. Spägele et al. metas supercélulas propostas (SCMS) que usam o acoplamento entre átomos adjacentes na supercélula para alcançar efeitos de grande angular; Estakhri et al. propôs o projeto de uma metassuperfície de gradiente de luz visível refletida de volta altamente eficiente composta de nanofios de TiOx para atingir ângulos amplos; Deng et al. propuseram nano-grades metálicas finas com ranhuras retangulares para construir metassuperfícies para aumentar os ângulos de saída de luz [29,30,31]. Qiu et al. propostas de estruturas de nanomesh de Au com aberturas desordenadas de tamanho duplo como um novo tipo de filme condutor transparente para atingir ângulos de visão amplos; Liu et al. proposto o uso de grafeno como um filme condutor transparente devido às suas vantagens de anisotropia óptica e alta transmitância de luz em áreas incidentes de grande ângulo; além disso, para LEDs infravermelhos, Lee et al. estudaram o desenvolvimento de filmes finos de óxido de titânio-índio-estanho (TITO) para diodos emissores de luz de infravermelho próximo de baixa temperatura (NIR-LEDs) inserindo barreiras de Ti de 2 nm de espessura entre as camadas superiores dos NIR-LEDs e ITO para alcançar efeitos de grande angular [32,33,34].

Pesquisas relacionadas à modulação das distribuições de luz usando elementos ópticos secundários também foram relatadas. Run et al. projetou uma nova lente de superfície de forma livre cuja superfície interna é um cilindro e a superfície externa é uma superfície de forma livre para otimizar os ângulos de emissão de luz; Lin et al. propôs um arranjo de lentes de forma livre distribuídas por candelas cartesianas para otimizar o layout do arranjo de lentes de LED para alcançar ângulos amplos [35, 36]. Além disso, a pesquisa sobre a modulação da forma da luz para o diodo emissor de luz de pacote de escala de chip (LEDs CSP) inclui a alteração das estruturas de embalagem tradicionais e a otimização da distribuição de luz para fontes de luz planas [37, 38].

Vários pesquisadores também consideraram vários designs de substrato de LED para alterar os padrões do campo de luz. Lai et al. usou um processo de corrosão úmida com ácido sulfúrico para formar um padrão de pirâmide triangular em substratos de safira de plano C para alcançar eficiências de extração de luz mais altas e aumentar os ângulos de luz; Lan et al. propôs um substrato de safira padronizado (PSS) combinado com micro-LEDs flip-chip trapezoidais invertidos empacotados que mostram picos fortes e grandes ângulos de luz; Zhang et al. estudaram LEDs ultravioleta profundos flip-chip com estruturas de substrato de safira com padrão nano (NPSS) para mostrar que a estrutura do NPSS pode atingir ângulos amplos e aumentar a eficiência de extração de luz [39,40,41]. Componentes ópticos também foram adicionados aos módulos ópticos para modular as distribuições de luz. Wang et al. propôs um módulo compacto de luz de fundo de alta direcional combinado com um refletor difuso listrado para difundir a luz através de uma placa guia de luz compacta e realizar ângulos de visão amplos; Li et al. projetou uma placa de um quarto de onda de um retardador multi-torção para obter efeitos de aberração acromática e ângulos de visão amplos [42, 43].

Para obter um amplo ângulo de visão, o LCD deve ser projetado e compatível com retroiluminação grande angular e material de cristal líquido. Nesse processo, existem problemas de vazamento de luz lateral e mudança de cor. Com três grupos de luzes de fundo direcionais e um painel LCD de comutação rápida, é demonstrado um display de campo de luz multiplexado no tempo com um ângulo de visão de 120 graus [44].

Assim, pesquisas anteriores sobre como melhorar os ângulos de emissão de luz carecem de investigações relevantes no projeto de filmes ópticos em chips de micro-LEDs para aumentar os ângulos de emissão de luz. Como os tamanhos dos micro-LEDs foram muito reduzidos nos últimos tempos, é impossível ajustar os tipos de campo de luz usando lentes ópticas secundárias como nos LEDs tradicionais. Estudos anteriores também propuseram ajustar os tipos de campo de luz com filmes de metal; metais têm excelente refletividade em ângulos diferentes, mas os materiais têm altos coeficientes de absorção de luz que reduzem as eficiências de saída de luz. A refletividade dos materiais dielétricos em ângulos diferentes não é relativamente melhor do que a dos metais, mas os próprios materiais têm coeficientes de absorção de luz baixos. Este artigo propõe um projeto óptico primário para filmes dielétricos e de metal para obter filmes finos de baixa absorção e alta refletividade depositados nas superfícies de micro-LEDs e alcançar a distribuição de luz de ângulo total enquanto leva em conta as eficiências de saída de luz e luz de ângulo total emissões dos micro-LEDs. Micro-LEDs de ângulo total oferecem vantagens quando aplicados a displays de publicidade comercial ou módulos de fonte de luz plana que requerem ângulos de visão amplos.

Materiais e métodos

Tamanhos de chip de micro-LEDs e tipos de campo de luz


As dimensões dos micro-LEDs usados ​​neste estudo com base no comprimento L c , largura W c e altura H c são 150 µm, 85 µm e 85 µm, respectivamente. A curva de distribuição de luz do chip desencapado é mostrada na Fig. 1. A intensidade do ponto central na direção normal I C é 92%, o ângulo de pico I pico é 15 °, e o método de cálculo para a intensidade do ponto central é expresso pela Eq. (1). A partir da curva de distribuição de luz, pode-se observar que os micro-LEDs possuem tipos de luz lambertiana semelhantes, com largura total na metade do máximo (FWHM) de 135 °; portanto, aumentar os ângulos emissores de luz para obter luminescência de ângulo total sem a lente óptica secundária é o principal foco de pesquisa neste trabalho.
$$ \ frac {{I _ {{{\ text {C}}}} \, \ left ({{\ text {Centro}} \, {\ text {luz}} \, {\ text {intensidade}}} \ right)}} {{I _ {{{\ text {pico}}}} \, \ left ({{\ text {Peak}} \, {\ text {ângulo}} \, {\ text {intensidade}} } \ right)}} \ times 100 \% $$ (1)
Curva de distribuição de luz do chip Micro-LEDs

Dentre os parâmetros mencionados, a baixa intensidade da luz central e o aumento do ângulo luminoso de pico ajudam a melhorar a uniformidade e o ângulo de visão [45]. Este estudo apresenta o projeto de uma camada de filme fino altamente reflexivo (HRTF) na superfície do chip micro-LEDs, que inclui um filme dielétrico feito de TiO 2 / SiO 2 materiais dielétricos empilhados e um filme de metal feito de Al. A estrutura dos micro-LEDs e o caminho da luz através deles são mostrados na Fig. 2. A luz sai pela camada de poços quânticos múltiplos (MQWs) e é parcialmente refletida pelo HRTF. Depois disso, a luz sai da parede lateral do Al 2 O 3 camada, com um ângulo de saída de luz aumentado dos micro-LEDs para realizar uma saída de luz de ângulo total.

O caminho da luz dentro dos micro-LEDs de ângulo total com revestimento HRTF

Materiais do HRTF


A escolha dos materiais utilizados no filme óptico é fundamental para atingir as características desejadas. Primeiro, o material deve ter um baixo coeficiente de extinção na banda de comprimento de onda necessária para evitar a redução da eficiência de extração de luz devido à grande absorção; então, a adesão do material, as estabilidades físicas e químicas e a transmissão de luz devem ser consideradas. O material dielétrico TiO 2 / SiO 2 possui excelentes características para essas propriedades na faixa de luz visível. Al tem um coeficiente de extinção relativamente alto, mas sua refletividade não pode ser facilmente diminuída com o aumento dos ângulos de incidência; no entanto, pode suportar altas intensidades de luz. Com base nas características acima, o material de alto índice de refração ( H ) TiO 2 e material de baixo índice de refração ( L ) SiO 2 são usados ​​para o filme dielétrico, e Al é usado para o filme de metal, com Al 2 O 3 como substrato para o design de filme fino óptico. Os índices de refração dos materiais usados ​​neste estudo são mostrados na Tabela 1 no comprimento de onda dominante de 460 nm.

Otimização de design HRTF


O substrato usado para a superfície emissora de luz dos micro-LEDs é Al 2 O 3 . Projetamos o HRTF no substrato e usamos os filmes dielétricos e de metal para melhorar a refletividade, mantendo a alta eficiência luminosa. O objetivo aqui era atingir uma refletância> 90% no comprimento de onda dominante de 460 nm. O princípio por trás do projeto do HRTF é usar as características de interferência destrutiva e construtiva da luz para melhorar a refletividade. A interferência máxima da luz no meio do filme ocorre quando a espessura óptica é 1/4 do comprimento de onda e a refletividade da interface R neste momento é calculada de acordo com a Eq. (2) [46].
$$ R =\ frac {{n _ {{\ text {s}}} n_ {2} ^ {2P} - n _ {{{\ text {air}}}} n_ {1} ^ {2P}}} { {n _ {{\ text {s}}} n_ {2} ^ {2P} + n _ {{{\ text {air}}}} n_ {1} ^ {2P}}} $$ (2)
Aqui, P é o número de TiO 2 –SiO 2 períodos, \ ({} n _ {{\ text {s}}} \) é o índice de refração do substrato, \ (n_ {1} \) é o índice de refração de TiO 2 , \ (n_ {2} \) é o índice de refração de SiO 2 , e \ (n _ {{{\ text {air}}}} \) é o índice de refração do meio de ar. A espessura óptica da transmissão é 1/4 do comprimento de onda; portanto, as espessuras físicas de Al, TiO 2 , e SiO 2 são 20 nm, 47,78 nm e 78,50 nm, respectivamente. Este estudo usa o software de simulação óptica Macleod para simular quatro estruturas de filme fino para Al puro, Al / (HL), Al / (HL) 2 , e Al / (HL) 3 .

A Figura 3 mostra a relação entre o comprimento de onda e a refletância do Al puro, Al / (HL), (HL) 2 , Al / (HL) 2 , e Al / (HL) 3 das cinco estruturas de pilha de membrana no intervalo de comprimento de onda simulado de 400–500 nm. A refletividade do Al puro, Al / (HL), (HL) 2 , Al / (HL) 2 , e Al / (HL) 3 em 460 nm é 85,53%, 86,15%, 71,84%, 90,23% e 93,04%, respectivamente.

Refletância de Al puro, Al / (HL), (HL) 2 , Al / (HL) 2 , e Al / (HL) 3 foi simulado em comprimentos de onda de 400-500 nm

A Tabela 2 mostra as taxas de refletância, transmitância e absorção dos cinco tipos de estruturas de pilha de membrana, nomeadamente Al puro, Al / (HL), (HL) 2 , Al / (HL) 2 , e Al / (HL) 3 . A taxa de transmitância do alumínio puro em 460 nm é de 5% e a taxa de absorção é de 9,47%, que é a maior taxa de absorção entre os cinco tipos de pilhas de membrana. A transmitância do (HL) 2 pilha de membrana a 460 nm é de 28,06% e a taxa de absorção é de 0,1%; esta taxa de absorção afeta diretamente a eficiência geral de extração de luz; além disso, esta estrutura de pilha de membrana tem a menor taxa de absorção e sua refletividade é de apenas 71,84%. O Al / (HL) 2 pilha de membrana tem uma transmitância de 4,38% a 460 nm e uma taxa de absorção de 5,39%; esta estrutura de pilha de membrana leva em consideração a eficiência geral de extração de luz e distribuição de luz de ângulo total. Considerando o fluxo radiante e a eficiência geral de extração de luz, o Al / (HL) 2 estrutura de pilha de membrana foi usada neste estudo para o revestimento HRTF.

A Figura 4 mostra o Al / (HL) simulado 2 e (HL) 2 bem como seus gráficos de refletância e transmitância correspondentes para 400–500 nm. A refletância e transmitância médias de Al / (HL) 2 são 89,6% e 4,54%, e a refletância e transmitância média de (HL) 2 são 70,3% e 29,56%, respectivamente. Pode ser visto a partir dos resultados da simulação que adicionar a fina camada de alumínio aumenta a refletividade por um fator de 1,27.

Razões de refletância e transmitância das estruturas de película fina simuladas de Al / (HL) 2 e (HL) 2 para comprimentos de onda na faixa de 400-500 nm

A Figura 5 ilustra as mudanças em (a) a transmitância e refletância de Al / (HL) 2 em diferentes ângulos de incidência; de 0 ° a 60 °, a refletância média é 87,7% e a transmitância média é 6,97%. Figura 5b. A transmitância e refletância de (HL) 2 em diferentes ângulos de incidência; de 0 ° a 60 °, a refletância média é 68,99% e a transmitância média é 30,88%. No design de filme reflexivo de ângulo total, Al / (HL) 2 pode ser visto a partir dos resultados da simulação que adicionar a fina camada de alumínio aumenta o ângulo total da refletância média por um fator de 1,27.

Mudanças na refletância e na taxa de transmissão do a simulado Al / (HL) 2 para ângulos incidentes de 0-90 ° e b (HL) 2 para ângulos incidentes de 0-90 °

A Figura 6 mostra o diagrama 3D simulado de comprimento de onda / incidência / refletividade de Al / (HL) 2 para ângulos incidentes de 0–25 ° e refletividade média superior a 90% na faixa de comprimento de onda de 440–480 nm.

Diagrama de relacionamento 3D dos comprimentos de onda simulados, ângulos incidentes e refletividade de Al / (HL) 2

Resultados e discussão


A Figura 7 mostra as imagens do microscópio eletrônico de varredura (SEM) do revestimento HRTF do chip de micro-LEDs. O comprimento do chip L c é 240 µm, largura W c é 140 µm e altura H c é 100 µm. A Figura 8a mostra a vista superior e a Fig. 8b mostra a vista inferior.

Imagens SEM do chip micro-LEDs: a superior e b vistas de baixo

Imagem SEM transversal do HRTF

A Figura 8 mostra a imagem SEM em corte transversal do chip de micro-LEDs com revestimento HRTF. A pilha de protótipo de filme HRTF inclui uma espessura de filme de Al de 20,6 nm, TiO 2 espessuras de filme dielétrico de 46,3 nm e 46,2 nm, e SiO 2 espessuras de filme dielétrico de 77,5 nm e 77,1 nm.

A Figura 9 mostra a curva de luminância-corrente-tensão (L-I-V) medida. Sob uma corrente de entrada de 30 mA, os resultados mostram que sem o revestimento HRTF, o fluxo de radiação de saída, a tensão e a eficiência quântica externa (EQE) são 33,833 mW, 3,293 V e 41,84%, respectivamente. A tensão, potência de saída e EQE do revestimento HRTF são 3,301 V, 32,757 mW e 40,51%, respectivamente. Os resultados mostram que o revestimento HRTF dificilmente afeta as características da curva de corrente versus tensão (IV) dos micro-LEDs. O EQE do revestimento HRTF é de degradação de 3,178%.

Características fotoelétricas dos micro-LEDs sem e com revestimento HRTF

Conforme a corrente de entrada aumenta para 50 mA, esta tensão e potência de saída aumentam para 3,5 V e 48,165 mW, respectivamente, e o fluxo radiante é apenas cerca de 3,3% menor do que o dos micro-LEDs sem o revestimento HRTF. Isso mostra que os micro-LEDs com revestimentos HRTF têm baixas taxas de variação de tensão e características de baixas perdas ópticas.

A Figura 10 mostra as características de deriva do comprimento de onda dominante da corrente para os micro-LEDs com revestimentos de pilha HRTF. A linha laranja representa os micro-LEDs nus e a linha azul são os micro-LEDs com revestimento HRTF. Quando a corrente aumenta de 2 para 30 mA, o comprimento de onda de pico muda de 465,47 para 460,01 nm, indicando que os micro-LEDs revestidos com a pilha de Al / (HL) 2 as membranas mostram apenas uma mudança de 5,46 nm para o comprimento de onda dominante da corrente; portanto, esses resultados mostram que as propriedades fotoelétricas dos micro-LEDs originais são mantidas.

Mudanças nas curvas características de comprimento de onda dominante de micro-LEDs com e sem Al / (HL) 2 revestimento de pilha de filme

A Figura 11 mostra as curvas características de temperatura versus comprimento de onda de pico. A linha laranja representa os micro-LEDs nus, e a linha azul são os micro-LEDs com revestimento HRTF. À medida que a temperatura aumenta de 25 para 105 ° C, o comprimento de onda do pico é desviado para o vermelho de 460,09 para 462,45 nm; essas duas curvas mostram que as características fotoelétricas originais ainda são mantidas após o revestimento HRTF. O deslocamento de comprimento de onda dominante é de apenas 2,36 nm.

Curvas características dos comprimentos de onda de pico para micro-LEDs com e sem Al / (HL) 2 revestimentos de pilha de filme com base em variações de temperatura

O teste de estabilidade de longo prazo do HRTF é mostrado na Fig. 12. A temperatura ambiente de teste é de 25 ℃ e a corrente de acionamento é de 30 mA. Em 1000 h, o fluxo radiante pode ser mantido em 98,5%.

O teste de estabilidade de longo prazo do HRTF

A Figura 13 mostra as curvas de distribuição de luz dos micro-LEDs nus e revestidos com HRTF. A linha preta representa o padrão do campo de luz dos micro-LEDs nus, cujo FWHM é 135 °, a intensidade da luz central é 92% e o ângulo de pico é 15 °. A linha vermelha representa a distribuição de luz dos micro-LEDs com revestimento HRTF, cujo FWHM é aumentado para 165 °, a intensidade da luz central é reduzida para 63% e o ângulo de pico é aumentado para 37,5 °.

Curvas de distribuição de luz de micro-LEDs nus e revestidos com HRTF

A Figura 14 mostra o diagrama das distribuições luminosas dos micro-LEDs (a) nus e revestidos com HRTF. A Figura 14b mostra que a distribuição luminosa dos micro-LEDs com revestimento HRTF tem ângulos mais amplos e uma distribuição mais uniforme.

Esquema das distribuições luminosas de a nua e b Micro-LEDs revestidos com HRTF

A aberração cromática entre as diferentes áreas do HRTF como uma grande tela grande angular é mostrada na Fig. 15.

Relação de refletância de diferentes comprimentos de onda correspondentes a HRTF

Este artigo é baseado na faixa de comprimento de onda de 440–460 nm para otimizar o projeto de HRTF. Se for aplicado em cores no futuro, a espessura do filme de alumínio será aumentada para 50 nm ou mais, e será melhor uniformidade de cor no comprimento de onda global (400–780 nm).

Conclusões


Propomos o design de um revestimento HRTF nas superfícies dos micro-LEDs para aumentar seus ângulos de distribuição de luz para atingir ângulos de visão completos. Usamos um design óptico primário para modular as formas de luz dos micro-LEDs sem elementos ópticos secundários. A estrutura da pilha de filmes HRTF é otimizada usando Al / (HL) 2 para obter alta reflexão e baixa absorção. As medições em micro-LEDs fabricados com protótipo mostram que a curva L – I – V quase não tem impacto nas características I – V dos micro-LEDs sob uma corrente de entrada de 30 mA com revestimento HRTF e o fluxo de radiação é de apenas 3,3 % mais baixo do que os micro-LEDs nus. Em termos de ângulos de emissão de luz, as intensidades de luz central dos micro-LEDs com revestimento HRTF são reduzidas de 92 para 63%, o ângulo de pico aumenta de 15 ° para 37,5 ° e o FWHM é aprimorado de 135 ° para 165 ° .

Os resultados dos experimentos de avaliação mostram que micro-LEDs com revestimento HRTF têm baixas taxas de variação de tensão, baixas perdas ópticas e grande distribuição de luz de ângulo total de 165 °. Os micro-LEDs de ângulo total são fabricados levando em consideração a eficiência geral da luz, mantendo as características fotoelétricas dos micro-LEDs nus; esses micro-LEDs oferecem vantagens quando aplicados a monitores ou módulos de fonte de luz plana que requerem ângulos de visão amplos.

Disponibilidade de dados e materiais


Os conjuntos de dados que suportam as conclusões deste artigo estão disponíveis no artigo.

Abreviações

micro-LEDs:

Micro-díodos emissores de luz
FWHM:

Largura total pela metade no máximo
TV:

Televisão
MDCs:

Visores de cristal líquido
OLEDs:

Diodos emissores de luz orgânicos
SCMS:

Supercell metasurfaces
TITO:

Titânio-índio-óxido de estanho
NIR-LEDs:

Diodos emissores de luz infravermelha próxima
CSP-LEDs:

Pacote de escala de chip - diodo emissor de luz
PSS:

Substrato de safira estampado
NPSS:

Substrato de safira com padrão nano
L c :

Comprimento dos micro-LEDs
W c :

Largura dos micro-LEDs
H c :

Altura dos micro-LEDs
I pico :

Intensidade do ângulo de pico
I C :

Intensidade de luz central
HRTF:

Filme fino altamente reflexivo
MQW:

Poço quântico múltiplo
H :

Material de alto índice de refração
L :

Low refractive index material
k :

Extinction coefficient
SEM:

Scanning electron microscope
L–I–V:

Luminance–current–voltage
IV:

Current versus voltage

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