ISMI oferece software para rastreamento de desempenho de confiabilidade de equipamentos

A International SEMATECH Manufacturing Initiative (ISMI) lançou sua calculadora de confiabilidade, disponibilidade e manutenção (RAMCalc), um aplicativo baseado na Web que captura e calcula métricas de RAM, nos níveis de equipamento, módulo e wafer, para relatórios em conformidade com SEMI E10. O RAMCalc da ISMI permite que engenheiros de equipamentos, industriais e de manutenção calculem métricas de RAM, como tempo médio entre falhas, tempo médio para reparo, tempo médio off-line e disponibilidade para ferramentas de cluster de caminho único e complexas de vários caminhos.

O RAMCalc básico de caminho único, que está disponível ao público gratuitamente, calcula o desempenho de equipamentos de fabricação de câmara única ou não agrupados. Além da calculadora de caminho único, uma versão de vários caminhos do RAMCalc permite o rastreamento de equipamentos complexos de ferramentas de cluster de vários caminhos.

“O desenvolvimento de uma solução de coleta de dados robusta para testes de demonstração de equipamentos é fundamental”, disse Lorn Christal, gerente de projeto ISMI. “O papel do ISMI em um teste de demonstração de equipamento é fornecer métricas de desempenho precisas formuladas a partir de mecanismos de coleta de dados padronizados.”

Os algoritmos usados ​​no RAMCalc podem ser carregados independentemente nas ferramentas de fabricação para gerar automaticamente métricas de RAM consistentes com SEMI E10. De acordo com Jo Beekman, co-gerente de projeto, “RAMCalc é flexível. Atualmente, ele gera métricas consistentes com SEMI E10, mas usando um conjunto diferente de estados pode ser adaptado a outras métricas, como aquelas relacionadas à produtividade do equipamento, ou pode ser usado para gerar métricas para estados que ainda não foram definidos. ”

SEMI E10 é um padrão bem conhecido da indústria para medir o desempenho da confiabilidade do equipamento de fabricação de semicondutores. O SEMI E10 estabelece uma base comum para a comunicação entre usuários e fornecedores de equipamentos semicondutores, fornecendo padrões para medir o desempenho da RAM desse equipamento em um ambiente de fabricação. Uma votação para revisar o Padrão SEMI E10 é esperada ainda este ano. A votação tentará formalizar o cálculo das métricas de RAM para equipamentos de ferramentas de cluster de múltiplos caminhos. O RAMCalc da ISMI é projetado para estar em conformidade com a votação emergente.

O código-fonte do RAMCalc está disponível por meio do Collaborative Application Development Environment (CADe) da ISMI. O CADe é um programa de compartilhamento de código de “fonte comunitária” que está disponível gratuitamente para membros do ISMI e em uma base quid pro quo para empresas não membros.

ISMI irá fornecer uma introdução sobre o uso de RAMCalc para rastrear ou comparar o desempenho do equipamento em situações envolvendo testes de maratona e ambientes de produção de alto volume no Simpósio ISMI em 1 de novembro de 2010. O curso destacará novos conceitos:conjuntos de processos pretendidos, cluster de caminho único ferramentas e ferramentas de cluster de múltiplos caminhos e demonstrar como RAMCalc pode ser usado em cada uma dessas situações.

O aplicativo RAMCalc básico está disponível no site público da ISMI em http://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm. Para obter mais informações, entre em contato com Johannes Beekman, [email protected], ou Lorn Christal, [email protected].

Sobre o ISMI
ISMI é uma aliança global dos principais fabricantes de semicondutores do mundo, dedicada a reduzir o custo por wafer e, em última análise, o custo por matriz, por meio de programas cooperativos com foco na eficácia da fabricação. ISMI é uma subsidiária integral da SEMATECH, www.sematech.org.